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半导体材料四探针电阻率测试步骤流程

点击次数:8638 发布时间:2018/1/18 11:10:49
 半导体材料四探针电阻率测试步骤流程

半导体采用四探针法测试电阻率及电导率,他的性质在一般情况下,半导体电导率随温度的升高而减小,这与金属导体恰好相反。

上述特征的材料都可归入半导体材料的范围。反映半导体材料内在基本性质的却是各种外界因素如、热、等作用于半导体而引起的物理效应和现象,这些为半导体材料的半导体性质。

半导体材料分为元素半导体、无机化合物半导体、有机化合物半导体和非晶态与液态半导体。

备制不同的半导体器件对半导体材料有不同的形态要求,包括单晶的切片、磨片、抛光片、薄膜等。半导体材料的不同形态要求对应不同的加工工艺。

半导体材料的特性参数对于材料应用甚为重要。不同的特性半导体材料决定不同的用途。

下面就半导体材料四探针电阻率测试仪给大家介绍下操作流程及操作步骤,就FT-341四探针电阻率测试仪为例,来做详细的介绍:

1. 先备制好样品,样品一般需要在恒定的环境下放置一定的时间,来保证样品性质的一致性。

2. 开机预热,并准备好电脑开启PC软件,及固定好测试平台的调节,探头。

3. 将样品放置于平台上,并将旋转上下调节旋钮将探头探针调节并压着样品表面。

4. 此时需要在显示器上设置好测试条件,包括:测试电压,电流、探针间距、通讯方式选择、探针间距等相关数据。

5. 结果的输出为:电阻(方阻)、电阻率、电导率等相关数据

6. 由于所有的修正数据已经写入软件,则,无需使用者做复杂的计算,全部由程序来完成。

 

 FT-341双电测电四探针方阻电阻率测试仪

仪器本仪器采用四探针双电测量方法,适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能,电阻率单位自动选择,仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程,无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制,恒流输出,结构合理、质量轻便,运输安全、使用方便;选配:配备软件可以由电脑操控,并保存和打印数据,自动生成报表;本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示,同时显示液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率,配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,它与单电测直线或方形四探针相比,大大提高精确度,特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。

广泛用于:覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试

硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜,抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等

参数资料

1.方块电阻范围:10-52×106Ω/□

2.电阻率范围:10-62×106Ω-cm

3.测试电流范围:0.1μA 1μA10μA100µA1mA10mA100 mA

4.电流精度:±0.1%读数

5.电阻精度:≤0.3%

6.显示读数:液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率

7.测试方式: 双电测量

8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz  耗:<30W

9.整机不确定性误差: ≤4%(标准样片结果)

10.选购功能: 选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台

11.测试探头: 探针间距选购:1mm2mm3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针

 

原创作者:宁波瑞柯微智能科技有限公司

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