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层流洁净工作台检查及测试项目

点击次数:3448 发布时间:2015/5/20 10:10:00
 风机运行噪音测试:按单向流洁净室标准≤65dB(A),测点在距工作台外壁1m处,且在操作人员耳朵的高度上。洁净工作台测试风速测试:必须保证风速仪探头距离高效过滤器出风面20—30mm以内的平面上,取测点风速值的算术平均数。洁净工作台平均风速0.45m/s。
 
 

序号

 洁净工作台检查、测试标准及方法

 

 洁净工作台检查、测试结论

 

 1

 

 

风机运行噪音测试:   按单向流洁净室标准

≤65dB(A),测点在距工作台外壁1m处,且在操作人员耳朵的高度上。

 

符合标准□  

不符合标准□

 2

 

 

洁净工作台测试风速测试:必须保证风速仪探头距离高效过滤器出风面20—30mm以内的平面上,取测点风速值的算术平均数.

洁净工作台平均风速0.45m/s

 

符合标准□   

不符合标准□

 3

 

 

洁净度级别测试:采样量大于1L/min,*少采样点数= 工作台面积(m20.5;采样点位于工作面高度上,洁净度级别为美国联邦标准209E(0.5μm≤100颗粒数/ft3,5.0μm=0颗粒数/ft3)。

 符合标准□ 

 

不符合标准□

 

 层流洁净工作台检查、测试结论

 

 合格□   

 

不合格□

 

 

原创作者:深圳市羽上佳科技有限公司

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