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Junior小型等离子清洗机技术资料
| 反应舱 | 材料：铝。尺寸：直径230mm x 深度250mm。容积：10.4升舱门：装有可视窗口。托盘：订制 |
| 真空度测量 | 皮拉尼真空计 |
| 真空泵 | 二级旋片式真空泵；3m3 每小时。 |
| 频射发生器 | 0~600w可调。2.45GHZ发生器 |
| 控制系统 | 1，自动控制反应过程； 2，根据处理材料设定不同的处理工艺流程； 3，测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标； 4， 监测所有的运行指标，在设定范围之内； 5，设定操作、维护密码。 |
| 电源 | 220V AC, 50HZ, 16A. |
| 反应气体 | 一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）。 |
| 气体输入 | 直径1/4’’ 管道；输入压力：1Bar. |
| 安全性能 | 急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。 |
用途：
小型物件的活化、清洗、蚀刻等。
可选件：
1． 15m3 每小时真空泵。
2． 频射发生器：100KHZ, 13.56MHZ。
3． 石英反应舱
4． 根据客户要求制作的托盘
5． N2 Purge.
- 主要特点
