A100-AFM装备了闭环样品定位系统。
它保证了定位的绝对精度在10纳米（这比市场上的闭环原子力显微镜的性能好10倍）。
这些突出的特性，再配以APE研究的独特的软件工具，使得这款仪器适用于纳米光刻。
A100-AFM SGS 配备了弯曲扫描镜台，这保证了高平面度使得用户可以进行大范围的测量（可以达到100微米）。
APE研发了原子力显微镜的附加工具，这可以用于一些具体的测量模式（如EFM（静电力显微镜），MFM（磁力显微镜），Liquid cell（液体池））。

镜台
扫描镜台具有包含张力测量传感器的独立定位系统
扫描器技术资料：
X-Y扫描范围：
100*100微米（高电压模式）；
10*10微米（低电压模式）
高电压模式分辨率：闭环：2nm，开环：0.2nm
闭环线性度：0.1%
Z扫描范围：10微米（高电压模式）；
1微米（低电压模式）；
分辨率：0.16纳米（高电压模式），
0.02纳米（低电压模式）。

AFM Head 适用于接触模式，非接触模式，半接触模式和横向力模式
AFM Head 具有工业级的悬臂支架保持器，该保持器可以移动（很容易在悬臂上安装和拆卸），也很容易固定在悬臂上。头部还具有装备了激光和光电二极管传感器的前置放大器。

SPMCU2-PI
SPM 控制单元
SPM控制单元和计算机（配别有多输入输出主板）驱动扫描器，数据采集和采样运动
采样距离的末端由超低噪声的模拟反馈控制，该模拟反馈由计算机数字化驱动。
该系统的硬件时钟是高速的和高精度的

HVA3-PI Unit
高电压放大器
HAV是一种高电压放大器模块可以驱动A-100 SGS 扫描镜台

计算机和数据采集板
WindowsXP、Vista 操作系统；奔腾处理器或酷睿2，1G/2GDDR2 SDRAM内存，160G硬盘，DVD光驱，键盘和鼠标，19寸液晶显示器，采集板和接口。

采集软件
软件运行是基于窗口的，为了仪器控制和数据采集，还支持多窗口操作。软件具有简易的滤波器可以实时分析并获取图像。软件控制了仪器的所有参数。
APE研究的仪器装备了图像测量数据分析软件的基本模块，另外14项可选的功能也可以独立的获得。
选配件：
光刻工具
隧道扫描显微镜工具
ＭＦＭ（磁力显微镜）工具
ＥＦＭ（电场力显微镜）工具
ＣＡＦＭ（导电原子力显微镜）工具
液体池
隔音箱
桌台
其他可用的模块