产品简介：

    SR系列薄膜分析产品来自美国AST（Angstrom Sun）公司，其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜进行分析提供了极大便利。

特点： 

· 易于安装

· 容易操作的基于视窗结构的软件

· 的光学设计，以确保能发挥出*佳的系统性能

· 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量

· 独特的光源设计，有着较好的光源强度稳定性

· 有四种方法来调整光的强度：

§ 通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小

§ 在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整

§ 调整光束大小

§ 通过TFProbe软件，在探测器里调整积分时间

· *多可测量5层的薄膜厚度和折射率

· 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数

· 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量

· 系统配备大量的光学常数数据及数据库

· 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；   

· 可升级至MSP（显微分光光度计）系统，SRM成像系统，多通道分析系统，大点测量。

· 通过模式和特性结构直接测量。

· 提供的各种配件可用于特殊结构的测量，例如通过曲线表面进行纵长测量。

· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

系统配置： 

· 型号：SR300

· 探测器： 2048像素的CCD线阵列

· 光源：高稳定性、长寿命的卤素灯

· 光传送方式：光纤

· 台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量、200mmx200mm的大小

· 软件： TFProbe 2.2版本的软件

· 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

· 测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率 

· 电脑硬件要求：P3以上、50 MB的空间

· 电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A

· 保修：一年的整机及零备件保修

选项

1用于传递和吸收测量的传动夹具(SR300RT) )

2.可测量直径为5μm(MSP300)

3. 在多个位置下，多个通道用于同时测量(SR300xX)

4. 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM300-300/200）

规格： 

· 波长范围：400到1100 nm

· 光斑尺寸：500μm至5mm

· 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm

· 基板尺寸：*多可至50毫米厚

· 测量厚度范围：20nm到50μm

· 测量时间：*快2毫秒 

· 精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）

· 重复性误差：小于1?

应用:                  

•半导体制造（PR，Oxide, Nitride..) 

•液晶显示（ITO，PR，cell gap... ..） 

•医学，生物薄膜及材料领域等

•油墨，矿物学，颜料，墨粉

•医药，中间设备

•光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. 

•半导体化合物

•在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

•非晶体，纳米材料和结晶硅

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相关薄膜物性分析产品应用及产品技术问题，

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薄膜物性分析仪器系列（膜厚，光学参数，反射谱及颜色，膜面阻，等）

膜厚，光学参数：

SR100 薄膜分析仪

SR300 薄膜分析仪

SR500 薄膜分析仪

SE200BA 椭偏薄膜分析仪

SE200BM 椭偏薄膜分析仪

SE200-MSP 椭偏薄膜分析仪

SE300BM 椭偏薄膜分析仪

SE500BA 椭偏薄膜分析仪

MSP100 薄膜分析仪

MSP300 薄膜分析仪

MSP500 薄膜分析仪

uRaman  TechnoSpex-拉曼光谱仪及模块

膜面阻：

EddyCus?-TF lab 2020、

EddyCus?-TF lab 4040、

EddyCus?-TF map 2020SR、

EddyCus?-TF map Hybrid 、

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