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简介
AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层，涂层均匀性好且高效快速。
规格参数
基本参数 | 镀膜材料：SiO2/SiOx 镀膜厚度：50-1000nm 均匀性：+/-2% 处理温度：RT-200℃，取决于处理速度 处理速度：0-20m/min，根据实际应用调整 |
枪头 | 2个 |
电缆线 | 3m、5m、7m可选 |
发生器 | 尺寸：520mm×460mm×210mm，重量：20Kg |
控制系统 | PLC可实现下列功能： 简单便捷的操作界面； 根据处理材料设定不同的处理工艺参数，并且形成工艺菜单； 设置进气停气，加电停电，输入电压等指标； 监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内； 设定操作进入密码。 |
电源供应 | 220-230V AC, 50/60Hz, 10A |
工艺气体 | 压缩空气、氮气、其他混合气体，消耗量：100L/min |
气体输入 | 一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC），输入压力：3Bar |
尾气排放 | 100m3/min |
安全性能 | 急停开关；接地保护；CE安全认证 |
选件 | 定制OEM |
主要应用 | 1，表面活化改性后进行等离子镀膜，膜粘接能力强； 2，支持其他镀膜研究； 3，缺陷修补等其他应用。 |
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