特点：  快速响应 

         精确控制

         性能稳定

         连接简单 只须Swagelok 接头连接

         接线座是镀银

适用对象：  磁控溅射，光学镀膜，太阳能电池，ITO

技术参数：  流量：0­—500 scmm

            响应时间：2 毫秒

            漏率：1＊10-9sml/sec

            电压：0—100VCD

            温度范围:10⁰C至60⁰C

            入口压强:50PSI

应用：自动压强控制仪+压电阀，自动压强控制仪可选配北京清华大学申老师的，性价比高

  优势： 性价比好。

         服务好，可替换，维修

         国内稳定性差：驱动电压不稳，有时会高电压冲击

         响应时间快