设计性能：

1.不锈钢构造

2.压力500psig(34.5bars)

3.0~5Vdc或4~20mA信号

4.集成漏率1＊10^-9sml/sec (He)

5.精确度±1%F.S

6.备选总量计数器

7.具电路保护功能

AF型质量流量控制器是为显示和控制气体流量而设计的。

技术参数：

1.精确度: ±1% 满量程度FS (线性范围:气体T=15~25℃,压力=0.7~4.1bas);±2%F.S (线性范围:气体T=5~50℃,压力=0.35~10.3bars)

   2.重复性: ±0.2%F.S

   3.时间常数:  AFM系列—300ms

               AFC2600 (Qmax=15sL/min)—300ms

               AFC3600 (Qmax=50sL/min)—600ms

               AFC4600 (Qmax=100sL/min)—600ms

    4.响应时间: AFM系列在设置流速(25~100% F.S)的±2%变化值之内的响应时间大约为1秒           

    5.温度系数: ±0.1%F.S/℃

    6.压力系数: ±0.01%F.S/psi(0.07bars)

    7.*佳气体压力: 25 psig(1.73bars)

    8.的气体压力: 500 psig(34.5bars)max.标准校正压力为20psig(14bars)进气口压力

    9.气体和环境温度: 5℃~50℃

    10.漏率:漏率1＊10^-9smL/sec (He)

    11.流体接触材料: 316或416不绣钢, Viton O型圈, 备选O型圈:Neoprene或Kalrez

    12.安装敏感性: 倾斜度不大于±15%,标准校正安装姿势为水平位置

    13.输出信号:0~5V (2000Ωmin,负载阻抗);4~20mA(0~500Ω,线圈电阻)线性的直流电信号。的峰值噪音20mV

    14.连接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings.

备选 1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR® fittings.

    15.传感器输入功率：AFM/AFC2600 ±15 ± 5% Vdc, 80 mA max,1.2W; ±15 ± 5% Vdc, 200 mA max, 3W;

          AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% Vdc, 220 mA max, 3.3W; ±15 ±5% Vdc, 600 mA max, 9W.

     16.电路保护：电路具极性方向保护，可更换的保险丝提供电源输入保护。