在Parylene真空涂敷设备上，镀膜腔体与真空泵之间，需要低温捕集器。如下图。

常见的低温捕集器有以下3种方式：

1）液氮冷阱，是经济的低温捕集方式，简单可靠，易于维护，费用低。但是液氮的供应受制约因素较多，另外在冷头里灌注液氮，不太方便。

2）超低温制冷机的冷头，替换液氮冷阱，是常见的低温捕集方式。优点是直接替代液氮方式，用户容易理解和接受。缺点是冷头与制冷机之间，有不可拆卸的低温软管，损失部分冷量，若是低温状态下移动制冷机，容易损坏软管，造成制冷剂泄漏。与真空系统装配，占用空间较多。

3）超低温制冷机的冷阱，替换液氮冷阱，是更合理的低温捕集方式。将液氮冷头和真空罐一起去掉，从镀膜腔体的真空接口，采用真空软管，连接到超低温冷阱的真空接口，然后连到真空泵。超低温冷阱与超低温冷头相比，更加简单可靠，安装和维护更方便。

液氮冷头作为低温捕集器，捕集温度低，维护简单，但使用不便，常见于实验室里。

在工业领域，常见的是采用超低温制冷机作为低温捕集器，温度范围在-80℃~-145℃，一般分为冷头和冷阱两种方式。

超低温冷头的方式，优点是直接替代液氮冷头，也正好利用了原设计的液氮冷头的附加真空罐。缺点是液氮冷头或超低温冷头，法兰接口都是非标，需要定制；超低温冷头的黑色连接软管，保温层相对不足，会损失一部分冷量，低温时也比较脆弱、严禁移动。

超低温冷阱的方式，不需要附加的真空罐，整机机构简单。从镀膜腔室，直接连接冷阱即可。不会有冷量的损失、坚固耐用；接口采用真空标准形式KF40或KF50，非常方便可靠，也是真空系统的常规设计方案。

下图左边是冷头的方式，黑色的低温连接管，低温时比较脆弱，有冷量损失。

下图右边是冷阱的方式，真空连接比较简单可靠，镀膜腔室à冷阱à真空泵。

下边的大图，是选用台式冷阱的设计示意图（已批量应用）。

在超低温领域，长流仪器(Coolium instruments)是一家的研发型企业，为客户提供种类繁多的低温产品。比如温度为-50℃、-80℃、-110℃、-120℃、-135℃、-145℃的标准机型。同时也接受各种用户需求的非标定制。

长流仪器VaporCold超低温冷阱配套Parylene设备，已有超过15年的时间，配套的超低温冷阱超过500台，用户分布在国内、东南亚、欧洲、北美等市场。

长流仪器服务于Parylene设备，有丰富的经验和自信，可为用户提供多种解决方案。下图是长流仪器的部分机型图片，包括超低温冷头、超低温冷阱。

* 单压缩机自复叠制冷技术，降温快、温度低、节能环保、性能可靠。

* 机型种类齐全，立式或台式、冷头或冷阱，便于用户选择配套。

* 冷头或冷阱按真空标准进行设计、制造和测试，满足真空技术要求。

* 在冷头或冷阱的低温表面，部分机型可选防腐蚀涂层，大大延迟使用寿命。

下边是一些国内外的应用实例，冷阱形式各异，供大家对比和参考：

原创作者：北京长流科学仪器有限公司