在使用油扩散泵或分子泵的高真空环境中，都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸气、油蒸气及其它高沸点的气体，但机械泵抽除残余气体的能力低、时间长。而且残余气体还是工件的污染源，影响产品的产量和质量。

水蒸气、油蒸气是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。

（1）由于水蒸气和油蒸气的存在，导致抽真空时间变长，真空系统无法迅速达到目标真空度，生产效率下降；所需真空度越高，环境湿度越大，影响越明显。

（2）同时，水蒸气，油蒸气的存在，会导致膜层牢固度下降，无法多层镀膜，颜色不均一等影响产品质量现象发生。

（3）水蒸气在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。

深冷水汽捕集泵，是解决以上问题的上佳选择。

深冷水汽捕集泵的工作原理，是依照麦森纳捕集原理（Principle of Meissner trapping），使水汽分子在低温盘管（Cryocoil）的超低温表面上凝结，有效地吸附水蒸气，达到捕集水汽的目的。

深冷水汽捕集泵的具体应用：将一个-100℃以下的低温盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体，从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间），获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

近二十年来，在深冷水汽捕集泵领域，国产设备取得了长足的进步，*替代了PolyCold设备，性能指标与进口设备一致，价格不到进口设备的二分，具备很高的性价比。在安全性、便利性、数据可追溯性方面，VaporCold深冷水汽捕集泵，*超越进口同类产品。

在实际应用中，根据低温表面所放置的位置不同，一般可以分为两大类 ：

A、 低温盘管（水汽捕集器）

低温盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。非常适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。低温盘管需要有加热除霜功能，使盘管在每次破真空之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下一个产品周期的抽真空时间。

B、低温挡板（冷阱）

放置在油扩散泵的泵口、高阀以下，主要功能是防止油扩散泵的油气返流，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜功能。

根据需要，低温盘管和低温挡板，可以分别安装，也可以同时安装。

VaporCold水汽捕集泵的主要作用：

缩短抽真空时间，提高镀膜质量和产量。

VaporCold水汽捕集泵的主要特点：

1、快速捕集水汽、油气、可缩短抽真空时间60-90%；

2、提高镀膜质量，防返油、不脱落、颜色纯正；

3、降温快，3分钟内制冷到-100℃，可达-150℃；

4、升温快，3分钟热气除霜，迅速回温；

5、制冷系统优化设计，3分钟可再次降温;

6、彩色触摸屏与工业PLC组合，历史记录可查询；

7、品牌制冷压缩机，环保混合制冷剂；

8、标准接口，可设计为单路或两路负载输出；

9、单路或两路负载入口温度和出口温度的显示和记录；

10、内部温度、水冷温度、排气温度、排气压力的显示和记录；

11、除霜温度自由设定，除霜结束后自动提示；

12、压缩机温度过高、压力过高报警保护；

13、水冷不足、水温过高报警保护；

14、阀门箱前置，方便操作，避免冷凝水泄漏；

15、本地、远程自由转换，便于机台组合控制；

16、配置RS485、TCP/IP通信接口，方便连接上位机。

VaporCold系列-135℃深冷水汽捕集泵，采用成熟的核心技术、可靠的设计方案、进口品牌制冷压缩机及制冷配件、环保混合制冷剂、自动复叠制冷。制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。其设计和制造与技术水平同步，性能指标达到甚至*进口机型，可实现对进口机型的直接替换。

长流仪器历经二十余年的发展，针对真空镀膜行业开发了VaporCold系列水汽捕集泵，替代PolyCold，可为真空镀膜行业提供完整的水汽捕集方案，帮助客户提高生产效率、减少生产费用, 改进制程表现, 提高产品质量和产量。

原创作者：北京长流科学仪器有限公司