1、总体规格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH；

自重：280Kg；

2、结构特点

（1） 真空腔体：真空可达10-4Pa。留有2个用户法兰接口。

（2）探针控制：标配4个探针臂，可扩展至6个。调节范围20mm*35mm*20mm，调节精度优于10mm。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆。

（3）显微镜模块：变倍单筒显微镜，总放大倍数：14X~90X，分辨率优于5mm。500万像素数字摄像头，50W超高亮度氙灯冷光源。

（4）变温样品台：变温范围：80K~350K（可定制高温版本）。控温精度优于0.1K，温度稳定性优于0.05K。

（5）可接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤探针。

3、真空泵组、控温仪型号根据用户需求配置