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沃特塞恩专业研发生产固态射频电源，我司的固态射频电源常见的型号包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ 和64MHZ，*常应用于等离子加工。我们可以根据客户的需要，提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等级设备。固态射频电源是市场上级别电源，可以应用于所有等离子加工，包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD 等和集成电路，太阳能电池，平板显示器，LED，数据储存设备的制造。
产品特性：
- 平率稳定度±3%
- 宽负载适应能力
- 优越的可靠性能
| 型号 | 规格书 | 频率 | 输出功率 | 供电电压 | 效率 | 散热方式 |
| WSPS-13.56-1000 |
| 13.56 | 1000 | 220V | 65 | 风冷 Air cooling |
| WSPS-13.56-3000 |
| 13.56 | 3000 | 220V | 65 | 水冷 |
| WSPS-27-1000 |
| 27 | 1000 | 220V | 65 | 风冷 |
| WSPS-27-3000 |
| 27 | 3000 | 220V | 65 | 水冷 |
| WSPS-64-1000 |
| 64 | 1000 | 220V | 65 | 风冷 |
| WSPS-64-3000 |
| 64 | 3000 | 220V | 65 | 水冷 |
| WSPS-162-1000 |
| 162.5 | 1000 | 220V | 65 | 风冷 |
| WSPS-162-3000 |
| 162.5 | 3000 | 220V | 65 | 水冷 |
| WSPS-325-800 |
| 325 | 800 | 220V | 60 | 风冷 |
| WSPS-325-1500 |
| 325 | 1500 | 220V | 60 | 水冷 |
| WSPS-325-3000 |
| 325 | 3000 | 220V | 60 | 水冷 |
| WSPS-433-100 |
| 433 | 100 | 28V | 65 | 风冷 |
