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紫外臭氧清洗机（UVO）
英国Ossila公司提供的紫外臭氧清洗机（UVO），是一种简单，经济，快速的材料表面清洗设备，只需把样品放置到样品盘上，关上舱门，设置时间，并按运行，就可以了，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。要获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗几分钟就可获得！
目前紫外臭氧清洗机的主要应用表面UV光清洗和表面UV光改质。
表面UV光清洗：利用紫外光以及由其产生的臭氧OZONE，对有机物质所起的光敏氧化分解作用，以达到去除粘附在物体表面上的有机化合物（碳氢化合物），获得超洁净的表面。
表面UV光改质：利用紫外光照射有机表面，在将有机物分解的同时，254nm波长的紫外光被物体表面吸收后，将表层的化学结构切断，光子作用产生原子氧会与被切断的表层分子结合，并将之变换成具有高度亲水性的官能基（如-OH，-CHO，-COOH），从而提高表面的浸润性。
主要应用
石英/玻璃制品的表面清洗：液晶面板,等离子电视屏幕,彩色过滤片,光罩,棱镜,透镜,反射镜,平板电视等。
微电子产品的表面清洗：微型马达轴,磁头驱动架,光盘,光电器件,手机摄像头,微型喇叭/受话器震膜,半导体硅片,掩膜版。
精密集成电路的表面清洗：液晶显示器ITO,精密电路板,软性电路板接头,BGA基板的清洗,COG的清洗,COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金属基板的清洗,BGA基板与粘结垫的清洗。
在胶粘接或是印刷之前，对高分子聚合制品的表面改性：橡胶粘接，塑料汽车部件，透镜保护膜,塑料薄膜,树脂成型空气袋,IC包装,注射針接合部份的表面性,介入导管的表面改型等。
科研过程的表面清洗及处理：半导体，生物芯片，纳米材料，聚合物，光化学等。
产品特点
成本低。
120x120mm样品台。
处理样品高14mm。
抽屉式样品台，简单方便。
样品台自动安全开关,打开UV自动关闭，防止对人身伤害。
LCD屏显示“已用时间”和“剩余时间”。
60分钟定时器。
高强度UV灯源。
可控温的样品台。
样品清洗无需溶剂。
超净表面。
技术参数
| 紫外灯类型 | 低压石英水银蒸汽灯 |
| 紫外线灯的主要波长 | 185nm和254nm |
| UV灯管尺寸 | 100x100mm |
| UV灯电源 | 4000V,30mA |
| UV灯寿命 | 每天使用可用8-10年 |
| 适用电压 | 230V,0.6A,50Hz//opt.(110V,1.2A,60Hz) |
| 运行时间 | 59分59秒 |
| 安全 | 安全联锁，高温报警，高温断电。 |
| 托盘尺寸 | 120x120mm |
| 样品尺寸 | 100x100mm |
| 总尺寸 | 长204mm、高227mm、宽300mm |
