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详细内容
- 生物芯片领域
- 医用材料、光学材料研究
- 电子半导体领域
- 高分子材料研究
- 电化学、高端零部件处理
- 有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能：
- 自动调频高频发生器
- 内置旋转真空泵
- 此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀
- 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
- 真空监测.
- 双重气流针阀控制
- 精确时间定时
- 微处理器程序设置
- LCD状态数字显示
- 腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便
- 聚碳酸脂安全防护
