主动轴

X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y向上的行程*

±17, ±16

毫米

Z向上的行程*

±6.5

毫米

θX、θY向上的行程*

±10, ±10

°

θZ向上的行程*

±21

°

促动器设计分辨率

5

纳米

X、Y向上的*小位移

0.2

微米

典型值

Z向上的*小位移

0.08

微米

典型值

θX、θY向上的*小位移

2.5

微弧度

典型值

θZ向上的*小位移

5

微弧度

典型值

X、Y向上的空回

0.2

微米

典型值

Z向上的空回

0.06

微米

典型值

θX、θY向上的空回

2

微弧度

典型值

θZ向上的空回

4

微弧度

典型值

X、Y向上的重复精度

±0.15

微米

典型值

Z向上的重复精度

±0.06

微米

典型值

θX、θY向上的重复精度

±2

微弧度

典型值

θZ向上的重复精度

±3

微弧度

典型值

X、Y和Z向上的速度

20 / 10

毫米/秒

θX、θY、θZ向上的速度

500 / 250

毫弧度/秒

Typ. X、Y和Z向上的典型速度

10 / 5

毫米/秒

Typ. θX、θY、θZ向上的速度

240 / 120

毫弧度/秒

X、Y向上的刚性

0.7

牛/微米

Z向上的刚性

8

牛/微米

负载能力（底板为水平方向）

5

千克

负载能力（底板为任意方向）

2.5

千克

保持力（断电、底板为水平方向）

15

牛

保持力（断电、底板为任意方向）

2.5

牛

电机类型

BLDC电机

工作温度范围

0 到 50

°C

材料

不锈钢，铝

质量

2.2

千克

±5 %

电缆长度

0.5+3/3（空气）+2（真空）

米

±10 毫米

推荐控制器

C-887.5x