类型:UC级
特点:UC级;中等流量型
流量:50L/min(正常);100 L/min(正常)
一次压力:低压:1Mpa;高压:20MPa
二次压力:0.01-0.3Mpa;0.02-0.7MPa
气体接触部分粗糙度:UC: 0.7μm Rmax
气密性:1.01×10-11Pa.m3/s以下.

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