备有Compact eco，Compact 5，Mixx4，Mixx5PIN/RoHS等型号选择，可测量各类金属层、合金层厚度，附带功能：合金成分分析，电镀液成分分析，中文简体、繁体、英文操作系统
可测元素范围： 钛（Ti）—铀（U）
可测厚度范围（原子序）：22-25，0.1-0.8um；26-40，0.05-35um；43-52，0.1-100um；72-82，0.05-5um
自动测量功能：编程测量，自定测量
修正测量功能：底材修正，已知样品修正
定性分析功能：光谱表示，光谱比较
定量分析功能：合金成分分析
数据统计功能：X管理图，X-R管理图，直方柱图