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G100D和G150D立式激光干涉仪的有效口径分别为100mm(4英寸)和150mm(6英寸)。乾曜光 学将世界干涉测量技术与大尺寸、大曲率镜片测量的市场需求相结合，优化光学系统和机械系统 结构，将高精度的成像系统和图像采集系统，稳定的激光干涉技术和1-6.7倍图像放大功能等一系列 高精技术融合，使大口径球面干涉仪即适用于光学实验室的精密测量，又适用于光学车间的大批量检 验。高精度和成本优势，有利于客户提高产品品质，同时节省成本。
主要用途： 球面类光学元件(包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光圈量规、球面轴承等)表 面光圈、局部形变的测量，球面曲率半径的测量(配合光栅尺)。平面类光学元件(平面镜、水晶、陶瓷、 标准量块等)的表面光圈的测量。光学系统的在线监视装调和系统精度测量。
仪器规格参数表
| 产品型号 | G100D | G150D |
| 有效通光口径 | 101.6 mm（4英寸） | 152.4mm（6英寸） |
| 测量方式 | 菲索干涉原理 | |
| 光源 | 氦氖激光（632.8nm） | |
| 连续变焦倍数 | 1-6.7倍 | |
| 光路切换 | 对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换 | |
| 显示方式 | 计算机或独立监视器实时显示 | |
| 标准镜头 | 平面镜，F0.65，F0.75，F1.0， F1.5，F2.2， F3.3，F5.0，F7.1和F10.7等 | |
| 球面参照精度 | PV：优于λ/10和λ/20可选 | PV：优于λ/10 |
| 平面参考镜精度 | PV：优于λ/20 | PV：优于λ/20 |
| 导轨有效行程 | 1400mm | |
| 仪器尺寸(长X宽X高) 不含气浮平台 | 840X450X1700mm | 900X450X1700mm |
| 仪器重量 不含气浮平台 | 100KG | 120KG |
| 气浮平台尺寸 (长X宽X高) | 1200X600X560 | 1200X600X560 |
| 电源 | AC100-240V 50/60Hz | |
选配要点：
➢待测球面的R/D(曲率半径与口径的比值)应当大于球面镜头的F数，才能实现全口径测量；建议选取F数*接近(略小于)被测面R/D值的球面镜头。
➢凸面曲率半径与口径的测量范围受限于镜头标准面的曲率半径与有效通光口径；凹面的测量范围受限于测试腔的长度(也即是仪器导轨的有效移动距离)与宽度(也即是载物台的横向尺寸)。
| 普通精度球面标准镜技术参数 | |||
| 型号 | 有效口径 | 材料 | 精度 （λ=633nm） |
| QY-150-Fxx | 152.4mm(or 6 inches) | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/10 |
| QY-100-Fxx | 101.6 mm(or 4 inches) | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/10 和 PV<λ/20 |
| 适用干涉仪 | F数 | 标准面曲率半径（mm） | 曲率半径测量范围（mm） | 测量口径（mm） | ||
| 凸 | 凹 | 凸 | 凹 | |||
| G150D | QY-150-F0.8 | 80 | 8~75 | 8~480(624) | 93 | 200 (240) |
| QY-150-F1.1 | 123.3 | 12~118.3 | 12~660(858) | 107 | 200 (240) | |
| QY-150-F1.5 | 187 | 19~182 | 19~900(1080) | 121 | 200 (240) | |
| QY-150-F2.2 | 303 | 30~300 | 31~1097 | 136 | 200 (240) | |
| QY-150-F3.3 | 470 | 47~467 | 47~930 | 141 | 200 (240) | |
| QY-150-F5.5 | 808 | 81~805 | 81~592 | 143 | 101 | |
| QY-150-F7.3 | 1075 | 108~1072 | 108~325 | 146 | 44 | |
| QY-150-F11 | 1656 | 166~1653 | — | 146 | — | |
| QY-150-F15 | 2271 | 868~2268 | — | 146 | — | |
| QY-150-F25 | 3783 | 2383~3780 | — | 146 | — | |
| QY-150-F30 | 4560 | 3157~4557 | — | 146 | — | |
| QY-150-F45 | 6814 | 5414~6811 | — | 146 | — | |
| G100D | QY-100-F0.65 | 38 | 4~33 | 0~292(468) | 50 | 150 (240) |
| QY-100-F0.75 | 45 | 5~40 | 0~337(540) | 53 | 150 (240) | |
| QY-100-F1.0 | 65 | 7~60 | 0~450(720) | 60 | 150 (240) | |
| QY-100-F1.5 | 121 | 12~116 | 0~675(1080) | 77 | 150 (240) | |
| QY-100-F2.2 | 191 | 19~188 | 0~990(1209) | 85 | 150 (240) | |
| QY-100-F3.3 | 298 | 30~295 | 1102 | 89 | 150 (240) | |
| QY-100-F5.0 | 490 | 49~487 | 0~910 | 97 | 150 (182) | |
| QY-100-F7.1 | 682 | 68~679 | 0~718 | 95 | 100 | |
| QY-100-F10.7 | 1039 | 104~1036 | 0~360 | 96 | 33 | |
| QY-100-F15 | 1500 | 150~1497 | — | 99 | — | |
| QY-100-F25 | 2500 | 1100~2497 | — | 99 | — | |
| QY-100-F45 | 4500 | 3100~4497 | — | 99 | — | |
| QY-100-F10D | 1025 | — | 1025~2425 | — | 150 (240) | |
| QY-100-F15D | 1500 | — | 1500—2900 | — | 150 (196) | |
| QY-100-F25D | 2500 | — | 2500—3900 | — | 150 (157) | |
| QY-100-F45D | 4500 | — | 4500—5900 | — | 130 | |
注：
1、QY-150-XX系列镜头适用于G150D系列干涉仪；QY-100-XX系列镜头适用于G100D系列干涉仪；
2、表中（）内数据为在载物台使用漏斗形特殊治具时, 对应的测量范围。
3、凸面曲率的测量范围受治具结构的影响。
4、可检查*小口径以及*小曲率半径根据被检物的形状而异。
