XP-703D日本COSMOS XP703D半导体特气检漏仪
价格:¥电议
品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号:XP-703D
原产地:中国大陆
发布时间:2010/6/20 0:51:15更新时间:2024/11/18 13:40:09
产品摘要:XP-703D日本COSMOS XP703D半导体特气检漏仪
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详细内容
*适合于检测半导体特气的微量泄漏
· 采用声光报警
技术指标:
型号 | XP-703D |
检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙、硅烷、氢气等) |
检测原理 | 热线型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度(单位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |