固态微波源在MPCVD系统中的应用框架图示（以6kW为例）

固态微波源在MPCVD系统中的应用优势分析

在MPCVD装置中，微波频率、腔体尺寸、样品基台等各种因数都会导致腔体内的电场分布和等离子状态和分布，以下是来自太原理工大学某学士的数据分析：

（图一）

在MPCVD装置中，即便只有10MHz的频率变化，也会引起腔体内电场和等离子强度以及分布状态的强烈变化

图（二）

在MPCVD装置中，谐振腔的尺寸引起腔体内电场和等离子强度以及分布状态的强烈变化

（图三）

在MPCVD装置中，样品基台的位置引起腔体内电场和等离子强度以及分布状态的强烈变化

而沃特塞恩固态功率源因其频率、相位可控、我们可以通过调整微波源的频率和相位来弥补腔体尺寸、样品基台等各种变化导致的电场分布和等离子状态的分布和改变。

采用沃特塞恩固态功率源的MPCVD装置，不会因为更换功率源导致装置的工作状态发生变化，而需要重新调试和设置装置的工作参数。