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低压等离子清洗机 Diener NANO系列
低压等离子技术,气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由上,材料表面可以被有效的改变。等离子效应可分为以下三类:
一微砂喷射:材料表面通过离子轰击被消减
二化学反应:材料表面与离子化的气体发生化学反应
三紫外线放射:紫外射线将长链碳化合物分解
NANO多种配置,完全满足不同客户需求
VERSION A | VERSION C | VERSION D |
VERSION B | VERSION E |
应用:
表面清洁
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蚀刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂层
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)
应用领域:
REM, TEM | 考古 | 汽车制造业 | 橡胶制造业 |
微机械制造 | 传感器检测 | 灭菌 | 纺织业 |
医疗器械制造业 | 塑料制造业 | 研发部门 | 电子半导体行业 |
规格、参数:
系列 | Nano系列 |
控制系统 | 半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 18~36L |
真空腔室 | 圆形不锈钢件,配有盖子 矩形不锈钢件,配有铰链的门 配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门 配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP),或者配有铰链的门 |
电极 | 单层或多层 RIE |
样品支架 | (选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani Baratron(适用于腐蚀性气体版本) |
计时器 | 数字型 |
高频电流发生器 | 40 kHz: 功率 0 - 300 W;0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 |
真空泵 | 规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要) |
电源 | 台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位 |