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2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 为手动型，配有 PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
系列 | Zepto 200 |
控制系统 | 手动型 PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 2.6L |
真空腔室 | 圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子 圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子 |
电极 | 单层或多层 |
样品支架 | 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani |
计时器 | 模拟式 |
高频电流发生器 | 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W/40kHz 0-100W |
真空泵 | 大于4m3/H |
