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德国Diener低压等离子清洗机 Tetra45 德国原装进口
特点：
· 单层处理，腔体深度接受定制，Max.1200mm
· 使用PCCE/Full PC软件,拥有更精确的工艺参数控制功能
· 铝制腔体适用于半导体封装工艺
应用：
· 各种材料表面有机物与无机物的去除
· IC/LED封装，BGA/CSP/COB基板处理
· Wafer去胶和蚀刻
· 印刷基板镀层前处理
· LED\光学\氟化材料\镜头等处理
· 塑料\橡胶\陶瓷\玻璃表面改性
技术参数：
型号 | Tetra45 PCCE | Tetra45 FULL PC |
控制模式 | 手动和自动 | |
显示 | 3.5’’TFT (7’’ optional) | 15’’ |
软件 | Windows PCCE Soft | Window Full PC |
真空计 | PID控制，数字显示 | |
真空计量程 | 0~9.99mbar | |
发生器*1 | 13.56MHz 0~600W | |
工艺气路 | 2pcs MFC/ O2、Ar、N2、He | |
冲洗气路 | 1pc | |
泄气气路 | 1pc | |
腔体材质 | 铝合金 | |
腔体尺寸*2 | W572 mm x D650 mm x H125 mm，约45L | |
腔体门 | 铝合金带观察窗 | |
托盘： | 旋转托盘 直径 Max.550mm | |
外形尺寸 | W850 mm x D800 mm x H1700 mm | |
电源 | 3P,AC400V 16A | |
真空泵*3 | Leybold D65C | |
注：
*1可以选配发生器2.45GHz 0~850W或者100kHz/0-500W
*2腔体深度接受定制，Max.1200mm
*3可以选配干式真空泵KASHIYAMA NEODRY36E
