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压电偏摆台-上海纳动纳米位移技术有限公司
点击次数:48发布时间:2022/4/13 11:53:11
更新日期:2022/5/25 18:12:24
所 在 地:中国大陆
产品型号:PT2T125-160S
优质供应
详细内容
产品描述
PT2T125-160S开发用于需要在光学检查和成像系统中对镜子进行超高精度定位的应用。反射镜简单地固定在平台的倾斜平台上,可提供> ±1mrad的行程和亚微弧度的分辨率;低移动质量和优化的闭环控制可为高速应用提供出色的响应时间。
PT2T125-160S可单轴使用,型号为PT1T125-160S。
PT2T125-160S是采用压电陶瓷驱动的偏转台,平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,补偿量小,确保了平台佳的运动精度和超高的稳定性。
平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量,定位稳定时间仅为毫量。中空式超薄设计,且中央通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。
可选择内置位置传感器。集成在压电偏转镜中的传感器是测量线性位移的线性传感器。闭环传感器可选择应变片式传感器或电容位置传感器,可获得更高的定位精度。
规格型号1 | PT2T125-160S | PT2T125-160S-S | 公差8 |
运动轴 | θx、θy | θx、θy | - |
集成传感器 | - | SGS | - |
标称行程范围2(@0~+120V) | ±160 ”[Sec] ≈ ±0.8 mrad/轴 | ±160 ”[Sec] ≈ ±0.8 mrad/轴 | ±10% |
大行程范围2(@-20~+150V) | ±200”[Sec] ≈ ±1.0 mrad/轴 | ±200”[Sec] ≈ ±1.0 mrad/轴 | ±20% |
分辨率3 | 0.01 μrad | 0.03 μrad | typ. |
小移动步长4 | 0.05 μrad | 0.05 μrad | typ. |
线性误差 | - | 0.1% | typ. |
重复定位精度(全行程) | - | 0.05% | typ. |
承载能力5 | 10 N | 10 N | typ. |
谐振频率(0g) | 300 Hz | 300 Hz | ±20% |
驱动机构 | PZT | PZT | - |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中孔尺寸 | 80×80 mm | 80×80 mm |
|
外形尺寸(长×宽×高) | 125×125×20 mm | 125×125×20 mm | - |
重量7 | 510 g | 510 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - |