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PT2R225-080S以微位移角振动台为研究对象,角振动在电压控制下沿着θx进行偏转运动,移动台面沿着θz偏转,整体复合形成两自由度的运动。本系统设备中，采用压电陶瓷作为旋转和偏转方向的驱动元件。压电偏摆/旋转台承载物体面约为170x170mm，整体移动面高于固定部分，便于安装负载，承载能力约50kg，偏转角度0.2mrad，压电旋转/偏摆台的特殊机械结构设计可用于大负载动态使用。整体平台采用8个M6螺丝进行固定。压电陶瓷驱动线缆及反馈线缆在整体平台的一侧采用侧出线的方式。压电旋转/偏摆台，采用并联叠加运动机构设计，在并联多轴系统中，所有压电陶瓷作用于同一个运动台面。并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。利用压电陶瓷直接驱动机械结构形式，具有高刚度、高承载、高动态等特点。压电平台整体由旋转、偏转机械机构两部分的组成，通过柔性铰链及导向结构，无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑、高寿命优点，可实现高负载能力，内置压电陶瓷作为执行元件、位置传感器作为反馈元件，其中偏转方向采用差分驱动原理，避免温度变化引起的飘移。θx, θz通过压电控制器输出的电压控制压电旋转/偏转台内部的压电陶瓷，使压电陶瓷产生位移输出，在通过柔性铰链及导向的连接，进而使其进行旋转/偏摆运动。
| 规格型号1 | PT2R225-080S | PT2R225-080S-S | 公差8 |
| 运动轴 | θx、θz | θx、θz | - |
| 集成传感器 | - | SGS | - |
| 标称行程范围2（@0~+120V） | 80”[Sec] ≈0.4 mrad（θx：±0.2mrad） | 80”[Sec] ≈0.4 mrad（θx：±0.2mrad） | ±10% |
| 大行程范围2（@-20~+150V） | 100”[Sec] ≈0.5 mrad（θx：±0.25mrad） | 100”[Sec] ≈0.5 mrad（θx：±0.25mrad） | ±20% |
| 分辨率3 | 0.004 μrad | 0.01 μrad | typ. |
| 小移动步长4 | 0.02 μrad | 0.02 μrad | typ. |
| 线性误差 | - | 0.2% | typ. |
| 重复定位精度（全行程） | - | 0.15% | typ. |
| 承载能力5 | 50 N | 60 N | typ. |
| 谐振频率（0g） | （θz、θx）500 Hz、850 Hz | （θz、θx）500 Hz、850 Hz | ±20% |
| 驱动机构 | PZT | PZT | - |
| 工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
| 线缆长度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
| 承载面尺寸 | 170×170 mm | 170×170 mm |
|
| 外形尺寸（长×宽×高） | 225×225×90 mm | 225×225×90 mm | - |
| 重量7 | 20 Kg | 20 Kg | ±5% |
| PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - |
| 本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - |
