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压电旋转台可提供高达0.4 mrad的旋转范围和扫描范围。旋转轴位于中心,内置的自由光圈使这些平台可用于轴向光束应用。
由于对FEA的优化,这些平台具有高的动态性能和较高的平面导向精度,即使在紧凑型包装中具有高质量负载的情况下,也可以实现这一目标。
压电系统还提供可绕其轴连续运动的旋转平台。可以找到这些压电驱动的长行程设备,这些设备也可以与运动控制下的纳米定位驱动器结合使用。
压电旋转台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。而且快速偏摆台拥有更高的精度和线性度。旋转轴位于正中心。中心孔径可用于轴向光束应用。采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构,可以满足高的动态性能和高的平面导向精度。平台特点体积小、结构紧凑、易于集成。压电旋转台不仅限于用作物理定位仪器,越来越多的基于压电的旋转位移台在生物系统仪器(如针头调节或光纤对准)的高精度定位域中也很常见。被广泛的应用于粒子跟踪、光镊、光束稳定、扫描显微镜等域。
PT1C50-080S系列技术参数
规格型号1 | PT1C50-080S | PT1C50-080S-S | 公差8 |
运动轴 | θz | θz | - |
集成传感器 | - | SGS | - |
标称行程范围2(@0~+120V) | 80”[Sec] ≈ 0.4 mrad | 80”[Sec] ≈ 0.4 mrad | ±10% |
大行程范围2(@-20~+150V) | 1000”[Sec] ≈ 0.5 mrad | 1000”[Sec] ≈ 0.5 mrad | ±20% |
分辨率3 | 0.004 μrad | 0.01 μrad | typ. |
小移动步长4 | 0.02 μrad | 0.02 μrad | typ. |
线性误差 | - | 0.5% | typ. |
重复定位精度(全行程) | - | 0.2% | typ. |
承载能力5 | 40 N | 40 N | typ. |
谐振频率(0g) | 3500 Hz | 3500 Hz | ±20% |
驱动机构 | PZT | PZT | - |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中孔尺寸 | Φ20 mm | Φ20 mm |
|
外形尺寸(直径×高) | Φ50×20 mm | Φ50×20 mm | - |
重量7 | 140 g | 140 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - |
本体材质 | 钢 | 钢 | - |