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PT6H60-S光学平台通常需要粘接镜面的位置(例如,用于光路调整),为此,平移/倾斜系统开发了一个32mm的移动台面,可在x,y和z方向上提供运动。在两个正交轴及Z轴上的15 µm,偏转度为±0.5 mrad、旋转轴角度为1mrad。
三个平移轴的挠性铰链可确保在此平台的行程范围内实现高程度的平行度,每个轴均具有内置的集成机械预紧力,这使得6轴压电定位器非常适合动态应用。设计用于正负偏转。
该结构具有温度补偿功能,因此周围温度的变化不会影响倾斜角度,因为镜架已预载,并且具有高刚度和夹紧频率的特点,因此可以进行动态操作。
固态挠性铰链的主要部件由金属材质制成,底板和顶板由黑色阳氧化铝制成。
可选版本,六轴压电定位器可以与集成的应变仪测量系统一起提供。压电旋转台不仅限于用作物理定位仪器,越来越多的基于压电的旋转位移台在生物系统仪器(如针头调节或光纤对准)的高精度定位域中也很常见。被广泛的应用于粒子跟踪、光镊、光束稳定、扫描显微镜等域。
PT6H60系列外形尺寸 系列技术参数
规格型号1 | PT6H60 | PT6H60-S | 公差8 |
运动轴 | X、Y、Z、θx、θy、θz | X、Y、Z、θx、θy、θz | - |
集成传感器 | - | SGS | - |
标称行程范围2(@0~+120V) | (XYZ)15 μm/轴、(θxθyθz)1 mrad | (XYZ)15 μm/轴、(θxθyθz)1 mrad | ±10% |
大行程范围2(@-20~+150V) | (XYZ)20 μm/轴、(θxθyθz)1 .5 mrad | (XYZ)20 μm/轴、(θxθyθz)1 .5 mrad | ±20% |
分辨率3 | (XYZ)0.15 nm、(θxθyθz)0.01 nm | (XYZ)0.2nm、(θxθyθz)0.03 nm | typ. |
小移动步长4 | (XYZ)0.3 nm、(θxθyθz)0.04 μrad | (XYZ)0.3 nm、(θxθyθz)0.04 μrad | typ. |
线性误差 | - | 0.2% | typ. |
重复定位精度(全行程) | - | 0.15% | typ. |
承载能力5 | 40 N | 40 N | typ. |
谐振频率(0g) | (XYZ)2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz (θxθyθz)3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz | (XYZ)2000 Hz、2000 Hz、1300 Hz (θxθyθz)3700 Hz、3700 Hz、2000 Hz | ±20% |
驱动机构 | PZT | PZT | - |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
移动面尺寸 | Φ32 mm | Φ32 mm | - |
外形尺寸(长×宽×高) | 60 × 60 × 50 mm | 60 × 60 × 50 mm | - |
重量7 | 420 g | 420 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - |