产品描述
PK2L150-100U为定制型产品，为3D微纳打印研发设计的，移动面设计为异形孔，便于安装用液晶及激光器的安装，即使很高的负载重量，也可以进行高动态扫描及稳定的应用。
利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK2L150-100U位移台可提供佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。
PK2L150-100U压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.02％的精度和重复性。
PK2L150-100U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。独特的安装内孔设计，便于客户使用球头微分头进行调节倾斜方向，其具有更高的结构稳定性。
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择XY轴版本（80μm）
应用域
—3D打印技术
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术

                         结构原理                                                        堆叠形式                                                         典型应用
PK2L150-100U系列技术参数