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20nm台式X射线源 脉宽7ns 脉冲能量3.5mJ 转换效率0.45%
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品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号：EUV-B-XRAY 原产地：中国大陆 发布时间：2022/6/16 17:31:05更新时间：2024/12/17 17:25:46
产品摘要：工作波长 20nm；脉宽 7 ns；脉冲能量（Xe） 3.5 mJ (4π sr, 2% BW)；转换效率 0.45% ；等离子形状 Ø ~ 300 μm；重复频率 10 Hz
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