产品展示
优质供应
详细内容
产品应用：
DC（直流）、RF（射频）、mmW（毫米波）测试
纳米级电子器件测试，微机电测试
高功率测试
产品特点：
1. 超高性价比的全功能型探针台。
2. 操作简易、操作效率更高——同轴操作机构（载物台和显微镜X-Y移动基座）。
3. 完整的系统配件，客户可根据需求将S系列配置为I-V/C-V测试系统、RF/mmW测试系统、高功率测试系统、光电器件测试系统等等。
| 光学系统 |
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| 类型 | 金相显微镜、体视或单筒显微镜可选 |
| 光学放大倍数* | 15X-2000X |
| * 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。
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| 其它信息 |
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| 台体尺寸 | 724mm*606mm*610mm（W*D*H） |
| 重量 | 120kg |
| 加热载物台(可选项） |
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| 尺寸 | 6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
| 温度范围 | 室温~300℃ |
| 温控精度* | 0.5℃（典型值） |
| 温度均匀性 | 0.5℃@6"载物台 |
| 加热时间 | <6min（室温~300℃） |
| 标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。 |
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| RF载物台(可选项） |
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| 尺寸 | 6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
| 校准片载物台 | 2个（独立真空控制） |
| 尺寸 | 可放置CS-5等尺寸的校准片 |
| 校准片载物台角度调节范围 | 7° |
| 材质 | 不锈钢 |
| 平整度 | |
| 真空驱动方式 | 真空泵 |
| 其它扩展配件(可选项） |
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| 探针卡夹具 | 可根据探针卡尺寸定制，应用于多点或自动测试 |
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| 激光器 | 1064nm，532nm，355nm，三个波段自由配置，对芯片线路进行切割修改。 |
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| 半自动控制系统 | 实现晶圆小批量半自动测试需求 |
| 设备环境要求 |
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| 电源 | 220V±10% |
| 真空 | -8bar |
| 压缩空气 | 0.6MPa |
