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class100百级无尘洁净烘箱EHC-270
点击次数:361发布时间:2017/1/6 11:21:27
更新日期:2017/4/5 17:16:02
所 在 地:中国大陆
产品型号:EHC-270
优质供应
详细内容
ENOHK品牌洁净烘箱(无尘烘箱)-EHC系列采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计,通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
产品特点:
●内胆:采用日制400番2mm厚SUS304#镜面不锈钢板材,经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE
●外壳:采用1.5mm厚 SS41#钢板经酸洗磷化等防锈处理后喷塑
●保温层:采用正厂一级100K级高密度超净玻璃纤维材料保温板,厚度80mm
●过滤器:进口耐高温无边框超高效过滤器H.E.P.A,》0.1μm颗粒过滤效率99.999%
●压差计:进口压差计,监控H.E.P.A工作状态。
●温控器:采用日本欧姆龙液晶数字型PID温度控制器,控温精度±0.5%
●温度传感器:日制进口CA感应棒±0.5%,精度高,误差小
●鼓风装置:采用大功率耐高温长轴减震静音马达,大口径不锈钢涡轮扇叶,可在高温环境下长期稳定工作
●电热发生器:覆套式无尘化电热发生器
●风门调节:进口伺服电机自动风门装置,自动控制风门开关,确保烘烤前后箱内密闭
●把手铰链:采用锌合金合页铰链门扣,易开易关。
●密封胶条:采用改性无氟硅橡胶材质,耐高温,不易老化,密封性极佳
●支撑脚轮:配置4只高承重万象活动轮,前轮带刹车,方便移动,同时配置4只水平调整脚杯
选配组件:
1.程序控温:可配置程序型温度控制器,实现99段*99组程序控温。
2.测试孔:可在侧面加装Φ35mm测试孔
3.电磁锁:安全门控电磁锁,确保烘烤过程箱门密闭,内部环境不被破坏。
4.多点温度记录:可配置多点温度记录仪,打印机或RS485接口,连接打印机或PC设备,监控记录温度状况。
5.三色指示灯:工作状态指示灯,待机,运行,故障闪灯光警示。
6.其它非标订制:可根据客户实际需求提供产品订制
EHC系列无尘洁净烘箱规格一览表:
型号 | EHC-180 | EHC-270 | EHC-480 | EHC-980 |
温度范围 | RT(常温)+10~200℃/ (可订制250℃) | |||
温度分辨率 | 0.1℃ | |||
温度波动度 | ±1.0℃ | |||
温度偏差 | ±1.0℃ | |||
温度均匀性 | 150±3℃ 200±5℃ | |||
容积 | 180L | 270L | 480L | 980L |
内部尺寸 (W×D×H)mm | 600×500×600 | 600×500×900 | 800×600×1000 | 1400×700×1000 |
外部尺寸 (W×D×H)mm | 980×1240×1510 | 980×1240×1810 | 1180×1340×1910 | 1950×1055×1790 |
层板 | 2pcs | 2pcs | 3pcs | 3pcs |
电源电压 | AC 380V 50HZ | |||
加热功率 | 6KW | 10KW | 14W | 17KW |
洁净等级 | Class10~100 | Class10~100 | Class10~100 | Class10~100 |
备注:所有机型外观尺寸仅供参考,实际尺寸以实物为准class100百级无尘洁净烘箱EHC-270