整合多项功能：    
    1 自动匀胶    
    2 显影    
    3 清洗    
    4 刻蚀     
    5 去胶    
    6 水烘烤    
    7 掺杂

主要特点

32位工业计算机芯片组控制。7英寸触摸屏显示，设定，控制。

        可设定存储25个不同样片的旋转涂敷工艺过程。

        每个涂敷工艺过程可以设置100步不同的速度状态；运行过程可以暂停，重复启动。

        循环转移：大次数：2的16次方= 65536次。（用途：工艺过程重复部分的设定）

        液晶显示屏可以实时显示直观显示转速时间曲线。第N个涂敷工艺过程 所处工作段

       真空吸片状态。

       设置时间；及实时运行时间。设置速度；及实时速度状态。中英文两套操作系统供选择。人机交互式对话，简洁，明了。

       安装有真空度传感器，涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度必须在安全的真空度下，电机启动，运行保障可靠吸片，不飞片。

       转速精度更高：300 - 10000 转/分，转速稳定性：+ - 0.1 %高转速10000转/分

NPP材质工作腔，外表面洁净光亮。美观，方便清洗。

       能精确滴定5种胶体或气体。(包括胶体，显影液，定型液，氮气)工作腔直径400mm。可以旋涂大基片直径380mm圆片或 250mm*250mm方片。可用丙酮擦拭。

      NPP的化学稳定性优异，对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显 惰 性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是稳定的。

技术参数：

       单相交流电源：220V.50Hz

       电机功率：150W

       旋转真空吸盘直径：4英寸（102mm，标准配置）

       可选择配置： 基片直径10—480mm可接受订货。

       转数：300 - 10000 转/分。