主要特点:
*高精度26程序控制器:
可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程;
每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态;
加速度(及负加速度),可设置。
中英文两套操作系统供选择。
操作系统内驻留涂敷工艺过程模板程序,方便快速调试并存储程序。
设置程序:标准通用符号,6键操作,人机交互式对话,提示操作。
无需培训,上手就会操作。
*可连接滴胶机,自动控制在必要的瞬间滴胶,自动控制重复定量滴胶。 精准的重复的自动控制操作,是人工不可能及的。
*工作腔可氮气保护。我们设备通过有效的惰性气体保护机构设计,对所有的环境变量(温度,湿度,洁净度)有效控制,这一点完全针对科研实验的苛刻要求而开发。
*真空吸片,爪卡机构。2种工作状态随意选择。 爪卡机构工作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。
*中心结构定位:圆形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。主机标准配备一片真空吸盘即可满足;小于3英寸可使用定制真空吸盘。
*卡盘,吸盘品种丰富,适应各种需要。
*真空吸片系统更安全:
安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,必须在安全的真空度下, 电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。运行中失去真空,系统保护性停机。
*伺服电机,转速精度更高:300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 % 高转速10000转/分
*设备所用的天然聚丙烯(NPP)材质,食品级卫生材料,易清洁,材质性能稳定,绿色环保型实验室的佳选择。
技术参数:
单相交流电源:220V.50Hz
电机功率:200W
转数:300 - 10000 转/分。
可设定时间:1---9999秒。
标准包装:尺寸: 490mm宽 x 400mm深 x 300 mm高 ,
可选配件
1. 特殊真空吸盘
2. 各种卡盘
3. 60升/分无油真空泵
4.滴胶机
产品简介:
主要用于液体,胶体在材料表面形成薄膜。
适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不锈钢,金属等制版表面涂覆工艺。
可在科研,教育,生产中应用。