采用压电陶瓷驱动的压电扫描台，压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电平台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。

产品特点：

◆ 超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；

◆ 超大行程；

◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统；

◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

产品应用：

扫描显微镜　•　掩膜/晶圆定位　•　计量学　•　半导体测试　•　干涉测量　•　纳米定位　•　生物技术　•　微操作

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       辽宁研生科技有限公司是专业从事压电纳米定位产品研发与制造的技术企业，多年来一直致力于纳米级超精密定位及运动控制技术领域，始终秉承对技术的持续创新和对品质的执着追求，一贯重视在研发方面的投入和对人才的培养，拥有一批专业的精密机械、电控、软件技术人才，在纳米定位及运动控制技术方面拥有近十余年的产品研发技术经验积累。

       专业的研发团队能够为用户提供各种类型的纳米级精密定位系统的解决方案，并可根据用户需求提供各种OEM产品和定制产品，为用户提供*佳的技术解决方案。 研生科技凭借雄厚的技术储备和研发制造能力，通过持续的技术创新，掌握核心技术与自主知识产权，同时积极与各高校、科研院所及企业展开密切合作，目前研生科技自主研发的系列化产品已处于国内地位，并不断向一流水平迈进。

       研生科技自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、纳米级精密定位台/扫描台、压电纳米定位平移台/升降台/偏摆台/旋转台、纳米级光束偏转镜、纳米级显微扫描平台、纳米级物镜聚焦/扫描器、纳米级红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。 

       研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到水平，可完美地替代进口产品。

       研生科技的产品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、超精密加工、自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工等的高精密装备制造商。 

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