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3500/45-01-00新闻动态中海德(福建)工业设备有限公司
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研究人员认为,这种新型设备将在多个领域产生深远影响,比如在生物医学领域,未来能够借此听到活细胞或细菌发出的声音,这可以极大地增进科研人员对微生物的了解,有助于开发治疗疾病的新方法。此外,在环境探测等领域,这种传感器也可以大大提高测量精度。
由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响,因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用,如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用,已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器,常见的有超导量子干涉装置(SQUID) 、磁通门磁力计、霍尔效应传感器、各向异性磁阻(AMR)传感器、微机电系统(MEMS)磁传感器。
在这些传感器中,虽然SQUID可探测极小磁感应强度(fT),但装置需要低温冷却,并且易受电磁干扰,为此需要复杂的外围设备;磁通门磁力计具有体积大、功耗大、运行范围小和不能检测静态磁场的特性,限制了其应用;霍尔效应传感器显示增加灵敏度需靠增加功耗实现;而AMR传感器则要求沉积磁性材料及自动校正系统,且在几mT时易出现饱和;由于MEMS技术可以将传统的磁传感器小型化,因此基于MEMS的磁传感器具有体积小、性能高、成本低、功耗低、高灵敏和批量生产等优点,其制备材料以Si为主,消除了磁传感器制备必须采用特殊磁性材料及其对被测磁场的影响。本文对目前基于MEMS的磁传感器在制备过程中涉及的主要设计、制作,传感技术及器件性质进行综述,并对其未来发展进行展望。
1、MEMS磁传感器设计及制作KP5
KP78 060L1184.
KPS79 060L1126.
KP81 060L1125
KP35 060-1133.
KP36 060-1108.
KPI35 060-1217.
KPI38 060-5081
丹弗斯MBC压力开关适用于那些需要着重考虑空间和可靠性要求的海上应用。MBC压力开关具有紧凑的结构,并且基于我们***新的模块式设计,它们可以抵抗船舶机械舱中的各种恶劣工况。MBC具有高度抗振性能,并且通过了所有的常见的船级认证。回差固定,但很小,可以保证对关键压力的精确监视。
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