迪普马MCD6-SAT/51N叠加溢流阀新闻资讯

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振器等。此外，AlN压电薄膜是一种很好的高温材料，因为AlN材料的压电性在温度为1200℃时依旧良好，所以AlN压电薄膜器件能够适应高温环境，该薄膜材料还具有很高的化学稳定性，在腐蚀性工作环境下薄膜器件依旧能够正常工作而不受影响。AlN材料还具有良好的热传导性能，在器件工作时会及时将产生的热量传导出去，不会因为产热过多而减少器件的使用寿命。由于AlN薄膜材料的多方面性能优点使其得到了相应的应用。例如基于AlN压电薄膜的体声波谐振器（FBAR），其谐振频率可达GHz，在通讯领域得到了广泛的应用。

ZnO与AlN一样具有纤锌矿结构。高质量高c轴择优取向的ZnO具有很好的压电性能。ZnO晶格常数与硅衬底相差不多，所以晶格匹配度高。目前制备洁净度高的ZnO薄膜技术已经很成熟。然而，ZnO很大的缺陷在于难以用于恶劣的环境，由于其是两性氧化物，所以抗腐蚀的能力很弱，这就影响了其在一些特定环境下的应用。

锆钛酸铅是由PbTiO3和PbZrO3组成的二元系固溶体，其化学式为Pb（Zr1-xTix）O3，简写为PZT。PbTiO3和PbZrO3均是ABO3型钙钛矿结构，所以PZT也是钙钛矿结构。此外，还可以在PZT中添加其它微量元素（如铌、锑、锡、锰、钨等）来改善性能。

PZT薄膜是目前应用*为广泛的压电材料，就是高压电特性的PZT材料已经被大量应用在了扬声器、超声成像探头、超声换能器、蜂鸣器和超声电机等电子器件中。*早人们利用溶胶-凝胶法制备了PZT薄膜，并在MEMS器件中进行实际应用，如驱动器、换能器和压力传感器。随着薄膜制备技术的提高，开始涌现出多种制备手段，并且也利用多种技术制备了PZT压电薄膜，如磁控溅射技术、脉冲激光沉积技术（PLD）、化学气相沉积（CVD）和金属化合物气相沉积技术等。PZT

贝加莱2005系列数字量输出模块3DM476.6

贝加莱2005系列数字量输出模块3DM486.6

贝加莱2005系列数字量输出模块3UM161.6

贝加莱X20系列数字量输出模块X20DO2322

B&R贝加莱模拟量输入模块

2003系列模拟量输入模块

7AI261.7

7AI294.7

7AI351.70

7AI354.70

7AI774.70

7AM351.70

7CM211.7

7CM411.70-1

X67系列数字量输出模块

X67DM1321

X67DM1321.L08

X67DM1321.L12

X67DM9331.L12

X67DO1332

X67DO9332.L12

X67DV1311.L08

X67DV1311.L12

X67MM2436

X67SM2436

X67SM4320

X67UM1352

X67系列模拟量输入输出模块

X67AM1223

X67AM1323

B&R贝加莱模拟量输出模块

2003系列模拟量输出模块

7AO352.70

7AM351.7

7CM211.7

7CM411.70-1

8AC131.60-1

B&R贝加莱阀控制 

X67DV1311.L08

X67DV1311.L12

B&R贝加莱电机模块 

X67MM2436

X67SM2436

X67SM4320

B&R贝加莱其他功能模块 

2003系列他功能模块

7CM211.7

7CM411.70-1

7MM424.70-1

7MM432.70-1

2005系列他功能模块

3DM 455.60-2压电薄膜与非铁电的ZnO材料相比较，*重要的优点就是PZT材料具有铁电