迪普马RS-3-30 节流阀新闻报道

迪普马RS-3-30 节流阀新闻报道中海德（福建）工业设备有限公司

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和寄生电容；可靠的信号处理系统；可靠的测试。

目前常使用的MEMS设计工具包括MEMSCAP、CoventorWare、IntelliSuite和Sandia Ultra-planar Multi-level MEMS Technology （SUMMiTV） 。这些设计工具具有创建传感器版图和检查设计规则的模块，并且可以模拟微加工过程的步骤，有利于减少获得高性能MEMS磁传感器的时间。

1.2 MEMS磁传感器制作

通常，MEMS磁场传感器的制造可以采用体或表面微加工工艺来实现。由于硅具有很好的机械和电学性质而被用来作为其主要加工材料，例如，硅具有*小的机械滞后和接近1GPa的断裂应力。此外，硅在掺杂磷或硼后其电性能可得到明显的改善。

体微加工工艺是采用湿法和干法蚀刻技术，通过材料的各向同性和各向异性蚀刻制备所需要的材料结构。表面微加工工艺是通过在衬底上进行不同材料层的沉积，图案化和蚀刻实现对MEMS器件的制造。通常，这些层被用作结构和牺牲层。图1分别给出了通过体加工和表面微加工工艺制备的磁传感器的SEM。

2、传感技术及MEMS磁传感器

2.1 传感技术

可以采用不同的传感技术制备MEMS磁传感器，例如压阻式、电容和光学技术。这些技术能够将磁场信号分别转换成电信号或光信号。在电信号检测中，当电源受限或存在强电磁干扰时，会影响其应用。而光信号检测在强电磁场作用及长距离传输等条件下应用比电信号检测更有优势，因此常应用在极端场合。此外， 3DI450.60-9 2005系列数字量输入模块,16路输入,24VDC, 1 ms 或 10 ms,漏式或漏式/源式,4个电隔离输入组 

3DM455.60-2 2005系列数字量混合模块,8路输入24VDC,2.5 μs,漏式,8路晶体管输出0-50 VDC,1A 

3UM161.6 2005系列通用混合模块,1x4路模拟量输入±10V,14-bit,1x3模拟量输出±10 V,12-bit,1x14数字量输入24VDC 

贝加莱2005系统数字量混合模块

模块号 简介

电源模块

模块号 简介 

3PS465.9 2005系列电源模块,24 VDC,50 W,带扩展槽  

3PS477.9 2005系列电源模块,24 VDC,50 W,带扩展槽 

3DM476.6 2005系列数字量混合模块,16路输入,24VDC/24VAC,1ms,DC: 漏式/源式,4路电隔离输入组 

3DM486.6 2005系列数字量混合模块,16路输入24VDC,1ms,漏式/源式,16路晶体管输出24VDC,0.5A 

3UM161.6 2005系列通用混合模块,1x4路模拟量输入±10V,14-bit,1x3模拟量输出±10 V,12-bit,1x14数字量输入24VDC 

贝加莱2003系统-数字量输出模块 

7DO720.7 

7DO722.7 

7DM438.72 

7CM211.7 

7MM424.70-1 

7DO135.70 

7DO139.70 

7DO435.7 

7DO721.7 

7DM435.7 

7DM465.7 

7CM411.70-1 

7MM432.70-1 

7DO138.70 

7DO164.70 

2003系统-数字量输入模块 

7DI439.7 

7DI645.7