迪普马VR4M1-ST 叠加溢流阀新闻资讯

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2.2 各类MEMS磁传感器

V. Kumar等报道通过内部热压阻振荡放大器实现的洛仑兹力谐振MEMS磁力计具有极高的灵敏度。他们采用偏置电流调谐方法，将谐振器的有效品质因子从680提高到1.14x10^6，已证明内部放大系数提高了1620倍。此外，谐振器偏置电流的增加除了改善器件的品质因子外，也使器件的灵敏度提高了2400倍（从0.9 μV·nT^（-1）到 2.107 mV·nT^（-1）） 。在直流偏置电流为7.245 mA时，获得灵敏度为2.107 mV·nT^（-1），本底噪声为2.8 pT·Hz^（-1/2）。

E. Mehdizadeh等报道了基于洛伦兹力在低电阻率n型SOI衬底上制造的MEMS磁传感器，其主元件的SEM和电连接分别如图2所示。该传感器利用了双板硅谐振器（厚度10 μm，其中具有10 μm x 200 nm的金线），其中间设计的2个窄梁与2个Si板连接；当谐振器在平面振动模式下振荡时，它会受到周期性的拉伸和压缩应力，因此呈现压阻特性。谐谐振器的品质因子在大气压下被放大（从1140到16900） 。此外，该传感器可通过增加谐振器振动幅度来提高其灵敏度。在空气中，当谐振频率为2. 6 MHz、品质因子为16900时，获得传感器灵敏度为262 mV/T。

A. L. Herrera-May等制备了具有简单谐振器和线性电响应的MEMS磁传感器。它由穿孔板（472μm x 300 μm x 15 μm） 、4 个弯曲梁（18 μm x 15 μm x 15 μm） 、2 个支撑梁（6

7DO138.70 

7DO164.70 

2003系统-数字量输入模块 

7DI439.7 

7DI645.7 

7DM438.72 

7CM211.7 

7DI135.70 

7DI140.70 

7DI435.7 

7DI439.72 

7DM435.7 

7DM465.7 

7CM411.70-1 

7DI138.70 

2003系统-模拟量接口模块 

7AF101.7 

7AF104.7 

2003系统-总线控制器 

7EX270.50-1 

7EX470.50-1 

7EX481.50-1 

7EX290.50-1 

7EX770.50-1 

7EX484.50-1 

2003系统-CPU 

7CP570.60-1 

7CP476-010.9 

7CP774.60-1 

7CP770.60-1 

7CP430.60-1 

7CP476-020.9 

7CP476.60-1 

7CP474.60-2 

7CP470.60-2 

 0 μm x 36 μm x 15 μm）和4个p型压敏电