相关论文发表在英国学术期刊《自然·通讯》上。

昆士兰大学教授沃里克·鲍文介绍，超声波探测器常用于孕期检查、水下探测等领域，但过去的超声波探测技术受制于噪音干扰，精度不是很高。他们此次利用纳米技术，研发出一种只有0.2毫米大小的超声波传感器，它能精确感受到极小的超声波带来的压力，即便这种压力小到只相当于一个病毒的重量。

研究人员认为，这种新型设备将在多个领域产生深远影响，比如在生物医学领域，未来能够借此听到活细胞或细菌发出的声音，这可以极大地增进科研人员对微生物的了解，有助于开发治疗疾病的新方法。此外，在环境探测等领域，这种传感器也可以大大提高测量精度。

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由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响，因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用，已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器，常见的有超导量子干涉装置（SQUID） 、磁通门磁力计、霍尔效应传感器、各向异性磁阻（AMR）传感器、微机电系统（MEMS）磁传感器。

在这些传感器中，虽然SQUID可探测极小磁感应强度（fT），但装置需要低温冷却，并且易受电磁干扰，为此需要复杂的外围设备；磁通门磁力计具有体积大、功耗大、运行范围小和不能检测静态磁场的特性，限制了其应用；霍尔效应传感器显示增加灵敏度需靠增加功耗实现；而AMR传感器则要求沉积磁性材料及自动校正系统，且在几mT时易出现饱和；由于MEMS技术可以将传统的磁传感器小型化，因此基于MEMS的磁传感器具有体积小、性能高、成本低、功耗低、高灵敏和批量生产等优点，其制备材料以Si为主，消除了磁传感器制备必须采用特殊磁性材料及其对被测磁场的影响。本文对目前基于MEMS的磁传感器在制备过程中涉及的主要设计、制作，传感技术及器件性质进行综述，并对其未来发展进行展望。

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