倍福模块CU2005新闻动态
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倍福模块CU2005新闻动态中海德（福建）工业设备有限公司
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各类MEMS磁传感器
V. Kumar等报道通过内部热压阻振荡放大器实现的洛仑兹力谐振MEMS磁力计具有极高的灵敏度。他们采用偏置电流调谐方法，将谐振器的有效品质因子从680提高到1.14x10^6，已证明内部放大系数提高了1620倍。此外，谐振器偏置电流的增加除了改善器件的品质因子外，也使器件的灵敏度提高了2400倍（从0.9 μV·nT^（-1）到 2.107 mV·nT^（-1）） 。在直流偏置电流为7.245 mA时，获得灵敏度为2.107 mV·nT^（-1），本底噪声为2.8 pT·Hz^（-1/2）。
E. Mehdizadeh等报道了基于洛伦兹力在低电阻率n型SOI衬底上制造的MEMS磁传感器，其主元件的SEM和电连接分别如图2所示。该传感器利用了双板硅谐振器（厚度10 μm，其中具有10 μm x 200 nm的金线），其中间设计的2个窄梁与2个Si板连接；当谐振器在平面振动模式下振荡时，它会受到周期性的拉伸和压缩应力，因此呈现压阻特性。谐谐振器的品质因子在大气压下被放大（从1140到16900） 。此外，该传感器可通过增加谐振器振动幅度来提高其灵敏度。在空气中，当谐振频率为2. 6 MHz、品质因子为16900时，获得传感器灵敏度为262 mV/T。
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