安川伺服电机SGD7S-590A10A动态中海德（福建）工业设备有限公司

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各类MEMS磁传感器

V. Kumar等报道通过内部热压阻振荡放大器实现的洛仑兹力谐振MEMS磁力计具有极高的灵敏度。他们采用偏置电流调谐方法，将谐振器的有效品质因子从680提高到1.14x10^6，已证明内部放大系数提高了1620倍。此外，谐振器偏置电流的增加除了改善器件的品质因子外，也使器件的灵敏度提高了2400倍（从0.9 μV·nT^（-1）到 2.107 mV·nT^（-1）） 。在直流偏置电流为7.245 mA时，获得灵敏度为2.107 mV·nT^（-1），本底噪声为2.8 pT·Hz^（-1/2）。

E. Mehdizadeh等报道了基于洛伦兹力在低电阻率n型SOI衬底上制造的MEMS磁传感器，其主元件的SEM和电连接分别如图2所示。该传感器利用了双板硅谐振器（厚度10 μm，其中具有10 μm x 200 nm的金线），其中间设计的2个窄梁与2个Si板连接；当谐振器在平面振动模式下振荡时，它会受到周期性的拉伸和压缩应力，因此呈现压阻特性。谐谐振器的品质因子在大气压下被放大（从1140到16900） 。此外，该传感器可通过增加谐振器振动幅度来提高其灵敏度。在空气中，当谐振频率为2. 6 MHz、品质因子为16900时，获得传感器灵敏度为262 mV/T。

017-528066 RT35W,0-2,5bar

017-140966 RT 110 PRESSURE CONTROL/IP

017-141366 RT 110 PRESSURE CONTROL/IP

017-141466 RT 110 PRESSURE CONTROL/IP

017-511066 RT 110 PRESSURE CONTROL

017-528366 RT 110 PRESSURE CONTROL

017-529166 RT 110 PRESSURE CONTROL

017-529266 RT 110 PRESSURE CONTROL

017-530066 RT110 PRESSOSTAT

017L001566 RT110L,0,2-3bar

017-140366 RT110 PRESSOSTAT

017-140266 RT 112 PRESSURE CONTROLS/IP

017-141566 RT 112 PRESSURE CONTROLS/IP

017-518466 RT 112 PRESSURE CONTROL

017-518566 RT112E PRESSOSTAT EEx ia IIC T5

017-519166 RT 112 PRESSURE CONTROL

017-519266 RT112,0,1-1,1bar,max reset

017-519366 RT 112 PRESSURE CONTROL

017-528266 RT 112W PRESSURE CONTROL

017-519766 RT112,0,1-1,1bar

017-519666 RT 113 PRESSURE CONTROL

017-519566 RT113E PRESSOSTAT EEx ia IIC T5

017-140166 RT116 PRESSOSTAT, 1 - 10 bar Pe

017-140666 RT116 PRESSOSTAT, 1 - 10 bar Pe

017-141166 RT116 PRESSOSTAT

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017-519966 RT116,1-10bar,min reset

017-520066 RT 116 PRESSURE CONTROL

017-520166 RT116E PRESSOSTAT EEx ia IIC T5

017-520366 RT 116 PRESSURE CONTROL

017-520466 RT 116 PRESSURE CONTROL

017-140466 RT 117 PRESSURE CONTROLS/IP

017-141766 RT 117 PRESSURE CONTROLS/IP

017-529566 RT 117 PRESSURE CONTROL

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017-529866 RT117E PRESSOSTAT EEx ia IIC T5

017L004266 RT117L,10-30bar

A. L. Herrera-May等制备了具有简单谐振器和线性电响应的MEMS磁传感器。它由穿孔板（472μm x 300 μm x 15 μm） 、4 个弯曲梁（18 μm x 15 μm x 15 μm） 、2 个支撑梁（60 μm x 36 μm x 15 μm）和4个p型压敏电阻构成的惠斯登电桥形成，见图3。在SOI衬底上采用标准的体微加工工艺制造器件，通过调整激励电流控制器件的动态范围使其保持线性电响应，获得器件品质因子为419. 6、灵敏度为230 mV·T、分辨率为2. 5 μT，功耗为12 mW。该传感器适合应用于非破坏性的磁性测试及铁磁材料缺陷和腐蚀的检测

减压阀 压力控制阀 Z4M5-A/50

减压阀 压力控制阀 Z4M5-B/50

减压阀 压力控制阀 Z4M6-1/50

减压阀 压力控制阀 Z4M6-A/50

减压阀 压力控制阀 Z4M6-B/50

节流阀 流量控制阀 ERS4M-RD/40

节流阀 流量控制阀 ERS4M-SA/40

节流阀 流量控制阀 ERS4M-SB/40

节流阀 流量控制阀 MERS-RD/50

节流阀 流量控制阀 MERS-SA/50

节流阀 流量控制阀 MERS-SB/50

叠加阀 叠加阀 VR4M4-SP/50

叠加阀 叠加阀 MCD5-SBT/51

叠加阀 单向阀 CHM5-D/10N(VPP4M-D/30)

先导式单向阀 方向控制阀 MVPP-D/50

叠加阀  直动式溢流阀 MCD5-SP/51

快慢切换阀 快慢切换阀 RLM3A-A10/10N-R230K1

叠加阀 叠加阀 QTM5-D/10N

伺服阀 伺服阀 DXJ3-DOL05/10N/EOK11

伺服阀 伺服阀 DXJ3-DOL10/10N/EOK11

伺服阀 伺服阀 DXJ3-DOL20/10N/EOK11

伺服阀 伺服阀 DXJ3-DOL40/10N/EOK11

伺服阀 电液比例阀 DXJ5-DOL100/10N/EOK11

放大板 液压附件 EDM-M242/20E

放大板 液压附件 EPA-M240/22

放大板 液压附件 UEIK-11/51-24

放大板 液压附件 UEIK-12/51-24

比例溢流阀 比例阀 PRE10-350/10-D24k1

比例溢流阀 比例阀 PRE25-350/10-D24k1

比例溢流阀 比例阀 PRE32-350/10N-D24K1

安装架 液压附件 PSC-32D/20

比例方向阀 电液比例阀 DSE3-C26/10N-D24K1/CM

放大板 液压附件 EDM-M252/20E

放大板 液压附件 EDM-M114/20

泵 液压泵 1P-4.2R/11N

外啮合齿轮泵 液压泵 GP1-0041R97F/20N

齿轮泵 液压泵 GP2-0095R00F/20N

齿轮泵 液压泵 GP2-0140R97F/20N

齿轮泵 液压泵 GP2-0140L95B/20N

齿轮泵 齿轮泵 GP3-0264R97F/20N

柱塞泵 液压泵 VPPM-029PC-R55S/10N000

柱塞泵 液压泵 VPPM-029PQC-R55S/10N000

柱塞泵 液压泵 VPPM-046PC-R55S/10N000

柱塞泵 液压泵 VPPM-073PC-R55S/10N000

叶片泵 液压泵 PVD35H/30

柱塞泵 液压泵 VPPM-046PQC-R55S/10N000

先导式溢流阀 压力控制阀 RQ4M5-D/51

先导式溢流阀 压力控制阀 RQ4M5-DT/51

先导式溢流阀 压力控制阀 RQ4M5-SAT/51

先导式溢流阀 压力控制阀 RQ4M5-SP/51

先导式溢流阀 压力控制阀 RQ4M6-D/51

先导式溢流阀 压力控制阀 RQ4M6-DT/51

先导式溢流阀 压力控制阀 RQ4M6-SAT/51

先导式溢流阀 压力控制阀 RQ4M6-SP/51

电磁溢流阀 压力控制阀 RQM3-P5/A/60N-D24K1

电磁溢流阀 压力控制阀 RQM3-P5/C/60N-D24K1

电磁溢流阀 压力控制阀 RQM3-P6/A/60N-A230K1

电磁溢流阀 压力控制阀 RQM3-P6/C/60N-D24K1

电磁溢流阀 压力控制阀 RQM3-P6/D/60N-A230K1