测量原理

光谱共聚焦原理：是一束多波长混合光束，聚焦到一个点上，由于各种波长光线

折射率不同，聚焦的位置也不同。聚焦在物体反射表面上的波长的光线，经过聚

焦后通过一个微孔到达光谱分析仪器，其它波长的光线由于没有聚焦在物体表面，

反射的光线只有极少能通过微孔，因此测量光线波长就可以得到物体表面的高度。

该测量原理的优点是，对物体表面光学特征不敏感，可以测量各种颜色，各

种反射度，各种透射率，包括透明材料和镜面反射材料。而且由于光线从四面八

方照射到样品，对表面突变的边缘不易产生影响测量的阴影效应。由于光谱分析

仪器的分辨率可以达到纳米级别，且对外界干扰光不敏感，所以测量精度高且稳

定性好。

应用: 用于测量平面上微小的凸出或凹槽, 因为非接触测量不会损伤样品, 特

别适合对未固化的浆料、胶水、油墨湿膜进行高度和截面轮廓测量。该原理还可

以测量多层透明膜厚度。

产 品 特 色：

高精度和高稳定性

☆ 探头分辨率提高到纳米级，有效分辨率22nm（0.022um）

★ 扫描轴*小步距1um，扫描时测量头移动样品不动，减少气流和震动影响

☆ 高刚性低热膨胀系数花岗石平台和构件，热源隔离设计 

★ 运动系统采用磁悬浮，超精密导轨

☆ 控制系统采用光栅尺全闭环反馈控制

★ 高取样密度：测量时每截面可达5万个取样点，每毫米1000点

☆ 颜色无关和亮度无关的测量方法，抗干扰能力强，环境光影响低

★ 高重复精度（< 0.1um于标准量块上），人为误差减少

☆ 高速度，探头采样频率静态2000Hz，动态900Hz

★ 两点基板倾斜修正功能

☆ 数字传输：抗干扰，自动纠错，准确度高

 高灵活性和适应性

☆ 大样品测量：测量台面尺寸达540x500mm，更大可定制

★ 厚板测量：高达80mm，Z轴可调35mm，探头可调45mm

☆ 微小目标测量：*小可测量宽度10um的目标

★ LED光源：寿命长

☆ 快速更换被测物：直接摆放被测物，速度快

★ 快速转换程序：自动记录*近程序，一键切换适合多生产线共享

☆ 测量原理受环境、材料影响小，可测量各种类型的浆料

★ 测量自动适应基板颜色和反光度，自动修正基板倾斜

☆ 数字传输：抗干扰，自动纠错，准确度高