型号：JL-142W(D)

是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。主

要配置采用检漏仪定制产品。设备内

芯的制造借鉴国外技术，整机设

置合理、性能稳定。具有灵敏度高，

反应快，开机时间短等特点。检漏效

果达到国外水平。

主要技术指标

1、真空模式小可检漏率：5×10 -13Pa•m3 /s（5×10 -12mbal/s）

真空模式漏率显示范围：1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s

2、吸枪模式小可检漏率：5×10 -9Pa•m3 /s（5×10 -8mbal/s）

吸枪模式漏率显示范围：1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s

3、启动时间：≤3min

4、响应时间：≤0.5s

5、检漏口的高压力：1500Pa

6、电源要求：220v，50Hz，单相，10A

7、工作环境：5-35℃

9、相对湿度：≤80%

9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）

10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg

主要配置

1、德国普发检漏仪专用分子泵（原装进口）

2、W 为油式机械泵，D 为干式机械泵

3、定制检漏仪专用电磁阀

4、专用阀体

5、原装晶圆放大器

6、采用质谱专用模块

7、液晶触摸彩屏

8、双灯丝（氧化钇金丝），自动调氦峰，自动切换