KLA探针式表面轮廓仪技术参数详解

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KLA探针式表面轮廓仪

简介：

KLA是全球半导体在线检测设备市场大的供应商，在半导体、数据存储、MEMS、 太阳能、光电子以及其他域中有着高的市占率。Alpha-Step" 探针式轮廓仪支持合阶高度和粗度的2D及3D(D-600)轮廓扫描，以及翘曲度和应力的2D测量。创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。

优势：

探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

-500/D-600提供高1200 m垂直量测距离，亚埃分辨率以及.03- 15毫克的针压控制范用。具有广泛的应用范围，包括从纳米到毫米的台阶高度，高分辨率的粗糙度，软材料和薄膜应力等，使其能够服务于研发和生产环境中的各个行业。

D-500配有140毫米的手动载台。D-600配有200毫米的自动载台,有手动deskew对齐和多达1000个量测位置的可编写序列软件功能。

台阶高度重复性

亚埃分辨率及光学杠杆传感器具有低重量低噪声的特点。在1微米台阶的高度重复性为5埃。

举例:

用户界面控件可以自动聚焦在样品表面单独控制光强和相机的亮度、对比度以及高达4倍的数字变焦。

数据采集设置和系统硬件控制显示在同-界面，以快速进行样品定位和测量直接保存原始数据，数据分析无需重新测量

探针扫描:D-500:140mm的扫描载台支持长达30 mm的单次量测和80mm的拼接功能。D-600:200mm的扫描载台支持长达55 mm的单次量测和200mm的拼接功能。D-500/D-600大垂直测量范围是1200 um，针压可低至0.03 mg，可以精确量测包括薄膜、软性材料、高台阶、弯曲度和应力等多种材料及应用。

超高清镜头:D-500/D-600配备的光学系统，包括一个高分辨率5MP彩色相机4倍数码变焦和增强的照明控制。

梯形校正:侧视镜头下的样品画面会出现一定程度的扭曲。全新梯形校正功能，可以自动去除扭曲效应。

圆修正:圆弧修正功能可自动修正探针在测量过程中的圆弧运动，大提高了侧壁倾角和台阶宽度量测的精确度。

3D扫描(D-600)和2D应力(D-500/600选配):三维扫描详细地展现样品表面的台阶高度，纹理，和样品的形貌。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力.

原创作者：北京伊微视科技有限公司