F50薄膜厚度均匀性测量仪-应用与分析

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F50薄膜厚度均匀性测量仪

依靠F50的光谱测量系统，可以很简单快速地获得大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。F50系统配置高精度使用寿命长的移动平台，确保能够做成千上万次测量。

产品名称： F50薄膜厚度测量仪

品牌： Filmetrics

产品型号： F50

产地： 美国

自动化薄膜厚度绘图系统

依靠F50的光谱测量系统，可以很简单快速地获得大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。F50系统配置高精度使用寿命长的移动平台，确保能够做成千上万次测量。

系统中预设了许多坐标形、方形和线性的图形模式，也可以编 辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。

可测样品膜层

基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括：

量测原理

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,我们可以判断我们可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（愈多的震荡代表较大的厚度）。而其他的材料特性如折射率与粗糙度也能同时测量。

FILMeasure软件提供两种分析模式：

Sepectru-Matching与FFT。在Spectrum-Matching模式中，您可以分析厚度与折射率。反正，FTT模式虽然只能测量厚度，但在较厚的薄膜厚度测量，FFT的分析能力更为健全。

FILMapper软件-自动测量

测绘图案绘制

用户能随心所欲的绘制所需的图案，操作功能方便省时

测绘图案参数：

•圆形/方形

•放射状

•中心或边缘排除

•点位密度

2D和3D的测绘

不论是反射率，厚度还是折射率的测量，都可以用2D或3D呈现。测绘结果能依不同的需要做调整，参数设定简单容易。测绘图能从不同的角度检视。

原创作者：北京伊微视科技有限公司