布鲁克轻敲模式探针-OTESPA-R3
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品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号: 原产地:中国大陆 发布时间:2017/9/11 16:56:02更新时间:2024/10/28 10:41:45
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详细内容
布鲁克轻敲模式探针——OTESPA-R3
此型号为布鲁克贴标,同型号奥林巴斯 AC160TS-R3 探针。
OTESPA-R3可视探针优点:
1)激光定位更容易
针尖位于悬臂的末端。探针定位更容易,特别是当AFM和光学显微镜结合使用时,如使用Bioscope Resolve时。
2)高横向分辨率:
针尖曲率半径对图像分辨率有大影响。四面体形状是获得点更小针尖曲率半径的理想形状。Otespa—R3曲率半径很小,即使有铝涂层,其平均曲率也小于10nm。
OTESPA探针覆盖了广泛的应用范围,但它在晶体表面、薄膜、IC器件等方面的观察非常出色。
3)粗糙样本的观察:
针尖非常薄,顶锥角为35度,使用者可以看到样品的一部分。此外,针尖是一个倾斜的角度,安装到AFM上以后,这个角度会变小(可能是5到20度)。这对粗糙样品同样适用。
探针对AFM成像质量的影响很大,多数情况下,AFM图质量差就是因为探针钝了,或者多针尖引起的。
一根AFM探针包含三个部分。一,基片(Substrate);二,微悬臂梁(Cantilever);三,针尖(tip);很多情况下,说针尖也是指整个探针。
材质:
1. 轻敲探针:一般是单晶硅,型号如RTESP;
2. 接触模式探针:材质是SiN,而新型号的SNL接触探针,悬臂梁是SiN,而针尖则Si(曲率半径2nm左右),这种探针可以提供接触模式下的分辨率图;
3. 功能探针:如磁力探针(MESP),导电探针,则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr,SCM-PIT的镀层是Pt。
指标:
探针的指标主要分三个部分,分别对应了基片,微悬臂梁,和针尖三个部分。
1. 基片,就是基片的长,宽,高,各种探针的基片尺寸是基本一致的。
2. 悬臂梁,分为矩形梁和三角形悬臂梁,他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数,一般来说,接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。
3. 针尖,针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有,曲率半径(Tip Radius),探针高度(Tip Height),对应于四面体的指标,角(Front Angel),后角(Back Angel),侧角(Side Angel),还有一个是Tip Set Back,对应的是针尖离悬臂梁末端的水平距离。
常用探针型号介绍
1. 轻敲模式,RTESPA-300,TESP,FESP
2. 接触模式,SNL,NP,
3. 智能扫描模式:Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+
4. 磁力显微镜,MESP-V2,MESP-RC-V2
5. 静电力显微镜,导电AFM,等电学测量模式,DDESP,SCM-PIT,SCM-PIC等。