Nanoworld 智能成像模式AFM探针——PNP-TRs

概况

• 用于接触式、动态式的宽范围应用的SPM、AFM探针 

• 适合于所有著名商业SPM和AFM

• 氮化硅悬臂和针尖

• 耐热Pyrex派热克斯玻璃做的支架

• 支架相互分离，更易操作

材料特点

• 用低应力氮化硅为了悬臂的弯曲 

• 完好硬度为了耐久性和延长的使用期

悬臂

• 四个长方形悬臂或四个三角形悬臂设计 

• 在悬臂背面上带反射铬/金涂层

• 应力补偿的；弯曲在2°下

支架

• 耐热Pyrex派热克斯玻璃做的支架 (3.4 mm x 1.6 mm x 0.5 mm) 

• 单一支架易于操作

针尖

• 氧化锋利的角锥状的探针针尖 

• 针尖高度为 3.5 µm，针尖曲率半径典型< 10 nm

• 探针的宏观半锥角35°

包装规格

• 装 20、50个扫描探针的小包装

探针对AFM成像质量的影响很大，多数情况下，AFM图质量差就是因为探针钝了，或者多针尖引起的。

一根AFM探针包含三个部分。一，基片（Substrate）；二，微悬臂梁（Cantilever）；三，针尖（tip）；很多情况下，说针尖也是指整个探针。

材质：

1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；

2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；

3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。

指标：

探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。

1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。

2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。

3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁*末端的水平距离。

常用探针型号介绍

1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP

2. 接触模式，SNL，NP，

3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V2

静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等