| 综合型分析探针台 |
| 型号 | SH-6 | SH-8 | SH-12 |
| 外形 | 820mm长*720mm宽*890mm高 | 960mm长*850mm宽*900mm高 | 1300mm长*920mm宽*920mm高 |
| 重量 | 170公斤 | 约230公斤 | 约300公斤 |
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz |
| 样品台 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 |
| 移动精度 | 1um |
| 样品固定方式 | 真空吸附 |
| 背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 |
| 针座平台 | 规格 | U型平台，*多可放置6个针座 | U型平台，*多可放置10个针座 | U型平台，*多可放置12个针座 |
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程 6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um |
| 光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm |
| 显微镜移动精度 | 1um |
| 切换镜头方式 | 显微镜快速倾仰30度 |
| 放大倍数 | 20~4000X |
| 镜头规格 | 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X,100X（选配） |
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） |
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm |
| 机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） |
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 |
| 应用方向 | 晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等 |
| 可选附件 | 卡盘快速拉出装置 | 加热台 | 光强/波长测试选件 |
| 显微镜倾仰装置（倾仰30度） | 高低温样品台 | 射频测试附件 |
| 显微镜气动升降装置 | 屏蔽箱 | 有源探头 |
| 激光微加工 | 转接头 | 低电流/电容测试 |
| 探针卡夹具 | 防震台 | 兼容积分球测试选件 |
| 显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 | 镀金卡盘 | 光纤夹具耦合测试选件 |
| 液晶热点侦测套装 | 同轴叁轴卡盘 | 封装器件夹具 |
| 高压/大电流测试套装 | 样品台快速升降，微调升降装置选件 | PCB/封装夹具测试选件 |
| 带真空底座的活动Chuck | 样品台旋转微调选件 | 特殊定制 |
