| LCVD激光修复机 |
| 型号 | LCVD-G6 | LCVD-G8.5 |
| 外形 | 2,850mm(宽)x2,500mm(长)x2,500 mm(高) | 4,000mm(宽)x3,500mm(长)x2,500 mm(高) |
| 重量 | 约7500公斤 | 约10500公斤 |
| 电力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max | 380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max |
| 可修复产品尺寸 | 长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
| 修复能力 | 沉积材质 | W,Cr,Mo,Al | 激光特性 | 激光系统 | DPSS激光切割系统 |
| 沉积线路速度 | 5~10um/s(厚度5000 Å) | CW激光沉积系统 |
| 单处缺陷修复时长 | 定位后，修复单处缺陷时间在5s左右 | 能量调节精度 | 0-1000 steps |
| 工艺参数 | 软件可以添加任意组工艺参数 | 0-100% |
| Cutting宽度 | 2um到50um可调 | Slit 窗口调节大小 | 0~2.4mm |
| 沉积宽度 | 3um到30um可调 | Slit 窗口控制精度 | 1um |
| 沉积边缘精度 | +-0.5um | 激光能量校准方式 | 自动校准 |
| 沉积厚度 | 2000 Å ~15000Å可调 | 校准时间 | 3mins |
| 沉积线路的电阻值 | <65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000 Å) | 激光能量校准精度 | 优于2% |
| 沉积稳定性 | 1.清洗机清洗次数>10 times | 激光波长 | Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm |
| 2.棉签蘸丙酮擦拭>500次 | CVD CW laser :NUV/UV |
| 3.强酸碱测试>1H | 脉宽 | < 12 ns |
| 3.毛刷擦拭>1H | 光斑尺度 | 2.0~ @50X object 1064nm (在标准mask上测试) |
| 4.超声波1MHZ>1H | 扫描面能量均匀性 | 优于5% IR |
| 平台功能 | Gantry结构 | 龙门式 | 激光寿命 | Cut Laser:10亿次激发 |
| X-Y-Z运动行程 | LVCD-G6 1500 *1850*58mm(X-Y-Z) | CVD CW laser: 8000小时 |
| LVCD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | 修复工作模式 | Scan扫描式和 Step模式 |
| X-Y运动速度 | 0~400mm/s可调 | 扫描路径 | 可任意定义路径 |
| 精度(*小移动量) | 0.1um | 控制 | 工作模式 | 自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯手动或者半自动修复 |
| Z 运动速度 | 0~2mm/s可调 |
| 精度(*小移动量) | 0.1um | 上下片 | 机械手或者流水线 |
| 重复定位精度 | +-5um | CIM系统 | 有 |
| 修复对位精度 | 0.1um | 减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 |
| 光学特性 | 光路系统倍率： | 50X~ 1000X |
| 5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects | 工业PC | 23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡，DVD-ROM |
| 光学分辨率 | 0.7um |
| 物镜切换速度 | 0.2~0.7s | 通讯接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 |
| 切换镜头偏差 | 小于3um | 安全 | 整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作 |
| 聚焦 | 激光自动聚焦 | 紧急开关EMO |
| 相机 | 200万像素 | 限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁 |
| 照明 | 平台有下光源，并且能够上下光源切换，屏蔽罩内安装照明，照度达到1000lux以上。 | Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) |
| 应用方向 | TFT-LCD 和 OLED Array Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复 |
