德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 控制器 压电控制器 E-709.SR

一、E-709.SR控制器产品特点：

0.02%线性误差，应变片式传感器（可选压阻式传感器，电容式传感器）

二、E-709.SR控制器产品应用领域：

E-709.SR控制器主要应用领域为共聚焦显微镜，3D成像，表面分析，晶圆检验。

三、E-709.SR控制器产品参数：

产品参数：

传感器类型：应变片传感器

功能：用于单轴压电陶瓷纳米定位系统的数字式控制器（.SR：OEM板）

轴：1

处理器：DSP32位浮点，150兆赫兹

控制器类型：PID，两个陷波滤波器，传感器线性化

采样率，伺服控制：10千赫兹

采样率，传感器：10千赫兹

传感器参数：

线性化：5阶多项式

传感器带宽：5千赫兹

传感器分辨率：16位

外同步：否

放大器参数：

输出电压：-30伏至130伏

峰值功率（<5毫秒）：10瓦

平均输出功率（>5毫秒）：5瓦

峰值电流（<5毫秒）：100毫安

平均输出电流（>5毫秒）：50毫安

电流限制：防短路

分辨率DAC：17位

接口参数：

通信：USB、RS-232、SPI

压电陶瓷/传感器连接器：D-sub9（母头）

输入/输出：HDD-sub26针（母头），1路模拟量输入为0至10伏（可配置），1路模拟量输出为0至10伏（可配置），1路监控器压电电压为-0.3至1.3伏，1个数字输入（LVTTL、可编程），5个数字输出（LVTTL、3个为预定义、2个为可编程）

指令集：PIGeneralCommandSet(GCS)

用户软件：PIMikroMove

支持功能：波形发生器、数据记录器、自动调零、触发I/O

显示器和指示灯：状态指示灯，溢流指示灯

其他参数：

工作温度范围：5至50摄氏度（40摄氏度以上，功率下降）

尺寸：160毫米×96毫米×33毫米

质量：260克/470克

工作电压：24伏直流（适用于.SRG含在发货范围内：外部电源）

功耗：24瓦

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 控制器 压电控制器 E-709.SR